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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum adixen ATP 2300 M
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum adixen ATP 2300 M
- Page 1 ATP 2300 M Pompes turbomoléculaires Manuel de l’utilisateur Manuel de l’utilisateur...
- Page 2 ATP 2300 M - Pompe turbomoléculaire Bienvenue Cher client, Vous venez d’acquérir une pompe turbomoléculaire adixen sur paliers magnétiques. Nous vous en remercions et sommes fiers de vous compter parmi notre clientèle. Ce produit a bénéficié de toute l’expérience acquise par adixen Vacuum Products depuis de nombreuses années dans Ce composant de pompage est destiné...
- Page 3 ATP 2300 M - Pompe turbomoléculaire Ce produit satisfait aux consignes essentielles des Directives et normes européennes, listées dans la Déclaration de Conformité disponible en G100 du manuel utilisateur du contrôleur. Copyright : Les produits adixen sont soumis à la loi sur le droit d’auteur et autre protection de la propriété...
- Page 4 Sommaire général : 112419 RÉFÉRENCE DU MANUEL : 06 - juin 2013 DITION Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Version française originale Chapitre A PRESENTATION A 150 - Présentation de l’ATP 2300 M A 200 - Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques A 210 - Principe de fonctionnement de la pompe A 400 - Les caractéristiques techniques A 510 - Les accessoires de la pompe...
- Page 5 Sommaire général : 112419 RÉFÉRENCE DU MANUEL : 06 - Juin 2013 DITION Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Version française originale Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions.
- Page 6 Présentation Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé A 150 Présentation de l’ATP 2300 M A 200 Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques - 5 axes actifs - Correcteur de réjection des forces de balourd A 210 Principe de fonctionnement de la pompe - Principe de pompage - La pompe turbo dans une installation - Les roulements de secours...
- Page 7 A 150 Présentation de l’ATP 2300 M Pompe turbo- moléculaire à suspension magnétique ATP 2300 M 5 axes actifs Contrôle de la position du rotor dans 5 directions. Correcteur de réjection des forces de balourd Plus bas niveau de bruit et de vibration possible. Adaptation automatique au déséquilibre du rotor, ceci à...
- Page 8 A 200 Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques 5 axes actifs L’ensemble mobile formé par le rotor turbo et l’arbre est désigné sous le terme rotor. Ce rotor est entraîné par le moteur et maintenu en suspension par des champs magnétiques créés par des électro-aimants situés dans les paliers actifs, type paliers magnétiques.
- Page 9 A 200 Principe d’asservissement d’une pompe sur paliers magnétiques Correcteur de réjection C’est une fonction électronique qui gère la position du rotor et l’autorise à tourner suivant son propre axe d’inertie. des forces de balourd Les variations d’équilibrage du rotor dues aux dépôts accumulés pendant le fonctionnement de la pompe sont automatiquement compensés par le correcteur de réjection des forces de balourd.
- Page 10 A 210 Principe de fonctionnement de la pompe Principe de pompage L’ATP 2300 M est une pompe turbomoléculaire multi-étagée, favorable au pompage des gaz légers. Piégées entre les disques tournants du rotor et les disques fixes du stator, les molécules de gaz du système sous vide sont entraînées vers le refoulement de la pompe.
- Page 11 A 210 Principe de fonctionnement de la pompe Les roulements de Ce sont des roulements à billes céramique lubrifiés à sec. Ils ne sont jamais utilisés en conditions normales. secours Les roulements de secours sont seulement utilisés pour protéger la pompe lors d’entrées d’air brutales, de chocs ou de coupures secteur accidentelles.
- Page 12 A 400 Caractéristiques techniques des pompes CARACTERISTIQUES ATP 2300 M UNITES Bride (aspiration) ISO-K DN 200 DN 250 Bride (refoulement) ISO KF DN 40 1 400 1 900 1 600 1 700 Vitesse de pompage* 1 700 2 050 1 450 1 950 >...
- Page 13 A 400 Caractéristiques techniques des pompes CARACTERISTIQUES ATP 2300 M UNITES ISO-K DN 200 DN 250 Accélération jusqu’à 90% de la vitesse de rotation nominale, avec pression au refoule- < 8 ment < 0,1 hPa Température d’étuvage de la bride °C Débit de purge recommandé...
- Page 14 A 400 Caractéristiques techniques des pompes Dimensions Entrée/Sortie d’eau 1/4 NPT femelle Refoulement DN 40 ISO KF Alimentation électrique Purge N2 Centre DN 16 ISO KF de gravité 115,5 / (4.55) 6 Trous M10-6H sur Profondeur max. = 29 Prodondeur min. = 25 Possibilité...
- Page 15 A 510 Les accessoires de la pompe Filtre pare-éclats Ce filtre protège la pompe contre les particules solides. Il est intégré au carter de la pompe. DN 200 Filtre bombé (Inox) + clip (diam. 4,5 mm) 108872 DN 250 Filtre bombé (Inox) + clip (diam. 5 mm) 108762 Dispositif réducteur Ce dispositif est utilisé...
- Page 16 A 510 Les accessoires de la pompe Vanne de purge * Vanne de purge 50 sccm Réf. (50 sccm) 24 V DC 111921S (pilotée par l’équipement du client) La purge garantit un balayage pour protéger les roulements de secours des gaz pompés. La purge de cette vanne peut être isolée pour un test d’étanchéité.
- Page 17 A 515 Dimensions des accessoires Dimensions (côtes en Connecteur de la bobine mm) de la vanne de Rotation possible purge (50 sccm) 83.3 Raccordement sur pompe Dimensions de la Connecteur de bobine Raccordement vanne d’entrée d’air (rotation possible) sur la pompe (côtes en mm) Raccord femelle 1/8NPT...
- Page 18 A 515 Dimensions des accessoires Dimensions de la câble vanne d’eau vanne d'eau (côtes en mm) Aspiration et refoulement 1/8 NPT femelle Echelle 13/20 38,7 47,7 adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 19 Mise en service Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé B 100 Consignes de sécurité pour l’installation B 201 Déballage et stockage de la pompe B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation - Conditions d’installation sur l’équipement - Consignes de raccordement d’une pompe à...
- Page 20 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de message est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures légères en cas de non respect des instructions.
- Page 21 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Les pompes turbomoléculaires ne peuvent refouler à la pression atmosphérique, il faut les connecter à une pompe de prévidage. Transitoirement elles peuvent démarrer leur rotation à la pression atmosphérique. Nos produits sont conçus pour répondre aux réglementations CEE en vigueur. Toute modification du produit de la part de l’utilisateur est susceptible d’entraîner une non conformité...
- Page 22 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Installation (Suite) L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe.
- Page 23 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Installation (Suite) Si l’accès au connecteur secteur n’est pas aisé, prévoir un dispositif de coupure secteur supplémentaire facilement accessible par l’opérateur. Risque de choc électrique : Courant et tension peuvent provoquer des chocs électriques. Isoler et verrouiller le circuit général d’alimentation avant d’intervenir sur le produit et/ou de retirer les capots.
- Page 24 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Installation (Suite) Verrouillage de sécurité Le moteur de la pompe est protégé contre les surcharges par la limitation de courant du variateur de vitesse dans le contrôleur (en cas de surcharge la vitesse se réduit automatiquement). Le bouton de commande “start/stop”...
- Page 25 B 100 Consignes de sécurité pour l’installation Etiquettes collées sur le produit Cette étiquette indique que la manutention peut entraîner des blessures musculaires. Pour toute manutention du matériel, utiliser les dispositifs prévus à cet effet (anneaux de levage, poignée…). Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous WARNING tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact.
- Page 26 B 201 Déballage et stockage de la pompe Déballage S’assurer que l’équipement n’a subi aucun dommage pendant le transport. S’il a été endommagé, prendre les mesures nécessaires auprès du transporteur et aviser le constructeur. Dans tous les cas, nous vous recommandons de conserver l’emballage (matériau recyclable) pour transporter l’équipement ou en cas de stockage prolongé.
- Page 27 B 201 Déballage et stockage de la pompe Stockage de la pompe Si une pompe neuve doit être stockée, laisser en place le film de protection. Stocker le produit dans les conditions suivantes: - environnement propre, sec et non pollué, - température ambiante comprise entre -5 °C et + 50 °C.
- Page 28 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Conditions d’installation sur l’équipement Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie cinétique libérée par le rotor si la pompe grippe brutalement. Pour cela, tenir compte : •...
- Page 29 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Consignes de De par leur conception, les pompes à paliers magnétiques sont conçues pour n’entraîner aucun risque pour la sécurité de raccordement l’utilisateur dans des conditions normales de fonctionnement. d’une pompe à...
- Page 30 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Description L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe grippe brutalement. d’un scénario Les charges résultantes maximum ont été mesurés sur un banc d’atterrissage brutal de test en simulant la cassure du rotor en 2 morceaux, à...
- Page 31 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Charges transmises à Pompe modèle Unité ATP 2300 M l’installation (suite) Vitesse nominale tr/mn 31000 Energie kN·m Couple Max. kN·m ATP 2300 M Charges mesurées sur banc de test adixen Durée ms Delais ms Flexion...
- Page 32 B 300 Consignes de raccordement d’une pompe Turbo à une installation Conditions d’installation de la bride d’aspiration (suite) Pour des raisons de sécurité, il est recommandé de serrer les vis à la clé dynamométrique selon les couples de serrage définis : - couple faible : risque de desserrage des vis - couple fort : risque de détérioration des vis.
- Page 33 B 310 Raccordement à l’aspiration et au refoulement Raccordement au circuit vide Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. Les orifices d’aspiration, de refoulement ont été fermés à l’aide d’obturateurs. Retirer ces protections au moment du raccordement à la ligne de pompage.
- Page 34 B 310 Raccordement à l’aspiration et au refoulement A l’aspiration: Vérifier que l’accessoire filtre pare-éclats ou filtre dense est installé, ou l’installer sur la pompe (les pompes sont livrées avec le filtre). Filtre pare-éclats Montage du filtre insérable Positionner le filtre (2) dans la gorge du carter d’aspiration (1), côté...
- Page 35 B 330 Raccordement du dispositif de purge d’azote et de la vanne d’entrée d’air Caractéristiques de Les caractéristiques de l’alimentation en azote sec filtré nécessaire sont les suivantes : l’alimentation en azote sec filtré - Concentration H O : < 1 ppm - Concentration O : <...
- Page 36 B 330 Raccordement du dispositif de purge d’azote et de la vanne d’entrée d’air Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz agressifs pompés peuvent rétrodiffuser et endommager les paliers internes de la pompe. Il est conseillé de maintenir la purge tant que le rotor tourne, pour garantir un balayage permanent et protéger l’intérieur de la broche.
- Page 37 B 340 Raccordement du circuit d’eau Caractéristiques Pour éviter les corrosions et l’obstruction des canalisations, il est conseillé d’utiliser une eau de refroidissement ayant les de l’eau de caractéristiques suivantes : refroidissement - Eau douce traitée ou eau industrielle non corrosive - Taille des particules (maxi): 0,2 mm - Dureté...
- Page 38 B 340 Raccordement du circuit d’eau sortie d’eau entrée d’eau Montage standard - Fournir une arrivée d’eau et un robinet pour ajuster le débit. - Raccorder la ligne d’arrivée d’eau sur l’un des raccords de refroidissement, (diam.ext.1/4 NPT femelle), relier l’autre au circuit d’évacuation par un tuyau flexible (fourniture client).
- Page 39 B 401 Schéma de câblage électrique typique Raccordement Pour cette installation nous utilisons : - une vanne d’isolement primaire V1 entre la pompe de la pompe à turbomoléculaire et la pompe primaire; l’installation - une vanne d’isolement secondaire V2 entre la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à...
- Page 40 Utilisation Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé C 100 Consignes de sécurité pour l’utilisation du produit Pour toutes les instructions relatives à l’utilisation de la pompe, se référer au manuel du contrôleur Magpower ou OBC. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 41 C 100 Consignes de sécurité pour l’utilisation du produit Avant d’utiliser la pompe avec son contrôleur, assurez-vous que les raccordements mécaniques et électriques ont bien été effectués dans le respect des consignes de sécurité : se référer aux chapitre B des manuels de pompe et du manuel du contrôleur associé.
- Page 42 C 100 Consignes de sécurité pour l’utilisation du produit Placée sur le contrôleur, cette étiquette indique que le contrôleur ne doit pas être débranché tant que la pompe est en rotation. Précautions habituelles avant d’intervenir sur le produit : avant d’exécuter une opération de maintenance, stopper la pompe en plaçant le commutateur du contrôleur sur «0», débrancher le câble secteur et attendre 5 minutes avant d’intervenir sur le produit.
- Page 43 Maintenance Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé D 100 Consignes de sécurité pour le démontage de la pompe de l’installation D 150 Fréquence de la maintenance adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 44 D 100 Consignes de sécurité pour le démontage de la pompe de l’installation Toute intervention de maintenance doit être effectuée par un opérateur de maintenance formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique, ...). Isoler le produit de ses différentes sources d’énergie (électricité, air comprimé, eau, gaz...) avant d’intervenir.
- Page 45 à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine adixen Vacuum Products, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client.
- Page 46 D 150 Fréquence de la maintenance Roulements de Lorsque la pompe fonctionne, le rotor est suspendu magnétiquement. Il n’y a donc aucun frottement entre les pièces secours mobiles et les pièces fixes. Lorsque la pompe est arrêtée depuis la liaison série ou la télécommande, les roulements de secours ne sont pas utilisés.
- Page 47 Fiches d’intervention Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé E 50 Remplacement de la bobine de la vanne d’eau - Démontage de la bobine - Remontage de la bobine E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées - Raccordements - Procédure de décontamination grossière adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 48 E 50 Remplacement de la bobine de la vanne d’eau Démontage de la Dévisser le raccord M5 du corps de la bobine vanne et le retirer. Ôter le clip de rétention. Enlever la bobine. Remplacer la bobine par une nouvelle. Remontage de la Remettre le clip de rétention.
- Page 49 E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées Prendre connaissance des consignes de sécurité avant d’intervenir sur la pompe D 100. L’utilisateur doit coller cette étiquette sur le produit pour informer WARNING de l’utilisation de gaz pompés qui peuvent être dangereux et FLAMMABLE, CORROSIVE AND TOXIC CHEMICALS LOCATED WHITHIN THE ENCLOSURE toxiques et qui peuvent entraîner des blessures graves ou la mort.
- Page 50 E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées Purge Description Référence (pressurisation) Obturateur DN 16 1/8 BSPT A458805 équipé d’un anti-retour avec un injecteur inclus Injecteur 106859 Note :Il existe des Description Référence kits de pressurisation Kit pour bride DN 200-ISO-F + Purge DN 16 108499 comportant les accessoires de raccordements pour...
- Page 51 E 100 Procédure d’expédition des pompes contaminées Pressuriser la Obturer l’aspiration de la pompe. pompe Pressuriser la pompe à l’azote sec* à une pression de 110 kPa absolue à l’aide de l’injecteur. * Caractéristiques de l’Azote sec : B 330. adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 52 Composants de maintenance Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé F 000 Consignes d’utilisation des pièces détachées - Remplacement de pièces et usage de pièces non d’origine F 100 Nécessaire de maintenance premier niveau adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 53 F 000 Consignes d’utilisation des pièces détachées Remplacement de Nos produits sont conçus pour répondre aux réglementations CE en vigueur et garantir un fonctionnement optimal dans des pièces et usage de conditions de sécurité maximales pour l’utilisateur. pièces non d’origine Toute modification du produit de la part de l’utilisateur est susceptible d’entraîner une non conformité...
- Page 54 F 100 Nécessaire de maintenance premier niveau Purge d’azote Réf. et vanne d’entrée d’air Bobine 24 VDC 038066 Filtre à poussières Remplacer régulièrement Réf. le filtre à poussières en Filtre à poussières 106229 cas d’utilisation en milieu pollué. Une gamme complète d’accessoires de raccordement est disponible dans le catalogue constructeur (colliers de serrage, anneaux de centrage, etc.).
- Page 55 Annexes Manuel de l’Utilisateur ATP 2300 M Sommaire détaillé G 200 Service après vente adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M...
- Page 56 Remplissez le formulaire «Demande de service» et renvoyez le à votre service Pfeiffer Vacuum contact Pfeiffer Vacuum local. A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à...
- Page 57 Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses Un seul fournisseur de Un seul fournisseur de solutions de vide solutions de vide solutions de vide innovantes et adaptées, son approche solutions de vide innovantes et adaptées, son approche...