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Pfeiffer Vacuum adixen ATP 2300 M Manuel De L'utilisateur page 10

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Principe de pompage
Roulements de secours
La pompe turbo dans
une installation
adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M
Principe de fonctionnement de la pompe
L'ATP 2300 M est une pompe turbomoléculaire multi-étagée,
favorable au pompage des gaz légers.
Piégées entre les disques tournants du rotor et les disques fixes du
stator, les molécules de gaz du système sous vide sont entraînées
vers le refoulement de la pompe.
Refoulement
Refroidissement
* La purge de gaz fournit une excellente protection pour les applications
corrosives et assure le refroidissement du rotor.
Au refoulement, les gaz sont évacués vers l'atmosphère par une
pompe primaire.
Le taux de compression de l'ATPM étant fixé par conception, les
performances de la pompe dépendent de la pompe primaire utilisée
et de l'installation.
PRESSION
D'ASPIRATION
Enceinte
à
pomper
Pompage
secondaire
Vide secondaire
Aspiration
PRESSION
ATMOSPHERIQUE
Pompage
Primaire
Vide primaire
A 210
Rotor
Stator
Moteur
Paliers
magnétiques
Purge*
1/2

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