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Bienvenue
Cher client,
Vous venez d'acquérir une
pompe turbomoléculaire
adixen sur paliers
magnétiques.
Nous vous en remercions
et sommes fiers de vous
compter parmi notre
clientèle.
Ce produit a bénéficié
de toute l'expérience
acquise par adixen Vacuum
Products depuis de
nombreuses années dans
la conception des pompes
turbomoléculaires.
Afin de garantir les
performances et la pleine
satisfaction que vous aurez
à utiliser ce matériel, nous
vous suggérons de prendre
connaissance de ce manuel
avant toute intervention
sur votre pompe et plus
particulièrement, du chapitre
réservé à l'installation et la
mise en service.
adixen Vacuum Products - Manuel de l'Utilisateur - ATP 2300 M
ATP 2300 M - Pompe turbomoléculaire
Ce composant de pompage est destiné à générer du vide en pompant des
gaz, mais pas de liquides ni de solides. Il est destiné à être intégré dans des
équipements industriels.
L'intégrateur de la pompe ATPM devra prévoir toutes les protections de
sécurité vis-à-vis des opérateurs, notamment le risque de contact avec les
surfaces chaudes.
Ce composant de pompage n'est pas conçu pour être installé dans des zones
à risque d'explosion. Nous contacter pour étudier une solution adaptée.
A
:
PPLICATIONS
Applications semi-conducteur
Gravure plasma, Implantation ionique, Pulvérisation cathodique,
Dépôt plasma.
Autres Applications
Microscopes électroniques, Analyse de surface, Recherche et
développement, Physique des hautes énergies, Simulation spatiale,
Accélérateurs, Dépôts.
A
:
VANTAGES
Vitesse de pompage élevée pour les gaz légers - Haut rendement -
Vide propre et silencieux - Inoxydable - Haut MTBF - Volume, taille et
poids minimaux - Contrôleur intelligent et compact - Fiabilité - Sans
maintenance - Sans batterie - Intégration simple.
Ce manuel comprend uniquement les informations d'installation de la
pompe sur l'équipement. Se référer au manuel du contrôleur pour alimenter
et utiliser la pompe (chapitres B, C et D).
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