Operazione Di "Bakeout - Agilent Technologies Miniature 913-0037 Notice De Mode D'emploi

1 Istruzioni per l'uso
Note di Funzionamento

Operazione di "bakeout"

Quando una pompa VacIon non raggiunge la pressione base
desiderata e non ci sono perdite, è necessario eseguire un "bakeout"
del sistema per eliminare il vapore acqueo. Questa operazione viene
eseguita riscaldando la pompa e tutti gli elementi del sistema.
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Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per mezzo di un forno o
elementi riscaldanti ad una temperatura tra 150 e 250 °C (250 °C
è la massima temperatura sopportata da molti cavi di alta
tensione). Questa temperatura è abbastanza elevata in modo da
"degassare" le superfici della pompa dal vapore acqueo senza
danneggiare il magnete ed il connettore dell'alta tensione.
Occorre fare attenzione che gli altri componenti del sistema
sopportino la temperatura di riscaldamento. Il riscaldamento
deve essere il più possibile uniforme su tutte le superfici per
evitare che il vapore si ricondensi sulle parti più fredde
impedendo così il raggiungimento di valori elevati di vuoto.
Lasciare accesa l'unità di controllo e controllare che la pressione
non superi il valore di 5x10
superi il suddetto valore, occorre spegnere il riscaldatore e
riaccenderlo quando si è ripristinata la bassa pressione. Per
controllare i riscaldatori ed i valori di pressione in modo
automatico durante il riscaldamento, occorre utilizzare un relè
sensibile alla pressione.
Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore. Periodi più lunghi
di riscaldamento sono necessari quando la pompa deve essere
usata con carichi di gas pesanti, o quando si desiderano valori di
-9
vuoto ultra alti (10
A mano a mano che la pompa ed il sistema ritornano alla
temperatura ambiente, si deve osservare un abbassamento della
pressione.
Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche c'è anche la
possibilità del loro impiego per processare sotto vuoto altri
componenti. Poichè il passante di alta tensione può sopportare
un numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a 400 °C), si
raccomanda di limitare tali cicli al minimo possibile, per
aumentare la durata di vita della pompa stessa.
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (E)
-5
Torr (mbar). Nel caso in cui si
Torr [mbar]) o inferiori.