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Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Standby
Valeurs prédéfinies
de vitesse
Mode d'exploitation
pompe primaire
20
Pfeiffer Vacuum recommande le mode Standby de la pompe turbomoléculaire lors de
pauses de processus ou d'exploitation. Lorsque le mode Standby est activé, la com-
mande électronique d'entraînement réduit la vitesse de la pompe turbomoléculaire. En
Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. Le réglage en
usine pour Standby représente 66,7 % de la vitesse nominale. Le dépassement ou le
franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans Standby active ou désactive le
signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
Régler le paramètre [P:717] sur la valeur souhaitée en %.
Paramètre [P:002] = 1
Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine
dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la com-
mande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il
faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait
partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d'éviter les survitesses.
HiPace
300
400 / 700 / 800
Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide
sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du pro-
cédé ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation à
régime variable ou en mode Standby.
L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraîne-
ment dépend du type de pompe primaire.
Mode d'exploitation [P:025]
« 0 » Fonctionnement permanent
« 1 » Mode intermittent
« 2 » Enclenchement retardé
Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée.
Fonctionnement permanent
La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de
pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la
pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sé-
curité de vide primaire.
Mode intermittent (uniquement pompes à membrane)
Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à mem-
brane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais
semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conduc-
teur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte.
La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire
fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont ré-
glables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et dif-
férentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage indivi-
duel du mode intermittent.
Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
Confirmation vitesse nominale [P:777]
1000 Hz
820 Hz
pompe primaire recommandée
toutes les pompes primaires
uniquement les pompes à membrane
toutes les pompes primaires
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