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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original TC 1200 E74 Unité de commande électronique...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Alimentation électrique secteur Interfaces Interface E74 5.1.1 Description du signal 5.1.2 Sortie analogique AO1 Interface RS-485 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.3.1 Cadre télégramme 5.3.2 Description du télégramme 5.3.3 Télégramme exemple 1 5.3.4 Télégramme exemple 2 5.3.5 Types de données Ensemble de paramètres...
- Page 4 7.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 7.5.2 Surveillance de la température Dysfonctionnements Généralités Codes d’erreur Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionne- ment avec des appareils de commande Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 4/50...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Étiquettes du produit Tab. 2: Abréviations utilisées dans ce document Tab. 3: Conditions ambiantes autorisées Tab. 4: Caractéristiques de la variante d'appareil Tab. 5: Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur Tab.
- Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Panneau de connexion TC 1200 E74 Fig. 2: Diagramme et affectations du panneau de connexion Fig. 3: Raccordement des accessoires RS-485 Fig. 4: Interface "E74" Fig. 5: Mise en réseau de plusieurs unités de commande électronique dans le bus RS-485 Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Signification dans ce document AI / AO Entrée analogique / sortie analogique Capacité d’interruption en ampère Display Control Unit (appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum) DI / DO Entrée numérique / sortie numérique Version conforme à SEMI E74 Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) Unité...
- Page 9 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 10 Sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 11 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité...
- Page 12 Sécurité 2.5 Utilisation conforme ● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires. 2.6 Utilisation abusive prévisible Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à...
- Page 13 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 14 Y permet la double affectation d'une connexion. PV.can Douille M12 avec coupleur fileté et LED pour les besoins du Pfeiffer Vacuum servi- Prise D-Sub avec 15 broches pour le raccordement et la configuration d'une com- mande à distance conformément à SEMI E74.
- Page 15 Installation 4 Installation 4.1 Diagramme de raccordement DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 16 Installation n.c. n.c. Accessory A2 Accessory B2 24 V DC** 24 V DC** Accessory A1 Accessory B1 start / stop (+) AO1 (-) CAN-H acceleration status (+) 24 V DC*** normal status (+) GND*** deceleration status (+) CAN-L alarm staus (+) remote / local status (+) ~ alarm status (+) start / stop (-)
- Page 17 L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique ne est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
- Page 18 Installation Fig. 3: Raccordement des accessoires RS-485 1 Convertisseur USB/RS-485 Appareil de commande avec unité de courant 2 PC Connexion de l’interface RS-485 3 Unité de commande électronique Raccordement des accessoires RS-485 Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485. 1.
- Page 19 Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Raccordement de l’alimentation électrique 1. Commandez un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. 2. Assemblez votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant le connecteur HAN 3A livré avec le produit.
- Page 20 Interfaces 5 Interfaces 5.1 Interface E74 Les câbles de signal (-) du « statut alarme (+) » et du « ~statut alarme (+) » sont groupés pour le signal « statut alarme (-) ». Input signal Output signal signal (+) signal (+) signal (-) signal (-) Fig.
- Page 21 L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique ne est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
- Page 22 2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente [P:797]. 3. Connectez tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 5.3 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.3.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32;...
- Page 23 Interfaces 5.3.2 Description du télégramme Interrogation des données --> Instruction de réglage --> Réponse des données / instruction de réglage comprise --> Message d’erreur --> NO_DEF Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus _RANGE Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée _LOGIC Erreur d'accès logique 5.3.3 Télégramme exemple 1...
- Page 24 Interfaces Nº Type de don- Description Lon- Exemple née gueur l1 – l0 u_real Nombre à point fixe positif 001571 correspond à 15.71 string Chaîne de 6 caractères. Codes TC_110, TM_700 ASCII entre 32 et 127. boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 0 est équivalent à...
- Page 25 Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Va- cuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
- Page 26 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut née Cfg DO2 Configuration 0 = Point de commutation de sortie DO2 la vitesse de rotation atteint 1 = Pas d’erreur 2 = Erreur 3 = Avertissement 4 = Erreur et/ou avertissement 5 = Régime nominal atteint...
- Page 27 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut née Cfg Acc A1 Configuration 0 = ventilateur (fonctionnement de la conne- continu) xion des ac- 1 = vanne de ventilation, fer- cessoires A1 mée sans courant 2 = Chauffage 3 = Pompe à...
- Page 28 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut née Cfg AO1 Configuration 0 = vitesse de rotation réelle sortie AO1 1 = sortie 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = Suit AI1 6 = Valeur de pression 1...
- Page 29 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonc- Type Type Unité min. max. tions d’ac- dé- don- cès faut née OvTempElec Température excessive 0 = non électronique d’entraînement 1 = oui OvTempPump Température excessive 0 = non pompe 1 = oui SetSpdAtt Régime nominal atteint 0 = non 1 = oui...
- Page 30 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonc- Type Type Unité min. max. tions d’ac- dé- don- cès faut née ErrHist7 Historique des codes d’er- reur, point 7 ErrHist8 Historique des codes d’er- reur, point 8 ErrHist9 Historique des codes d’er- reur, point 9 ErrHist10 Historique des codes d’er- reur, point 10...
- Page 31 L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont dispo- nibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide).
- Page 32 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité...
- Page 33 ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement élec- tronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par friction.
- Page 34 Utilisation P max [P:708] Fig. 6: Représentation schématisée des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0 Consommation de courant Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 » (gaz de classe moléculaire > 39, par ex. argon) Vitesse de rotation Caractéristique de puissance dans le mode du gaz «...
- Page 35 Utilisation dépassé ou n'est pas atteint, cela active ou désactive un signal au niveau de la sortie pré-configurée sur l’unité d’entraînement électronique et au niveau du paramètre d'état [P:302]. Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:017] = 0 f (%) [P:701] [P:010] [P:302]...
- Page 36 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de pro- cessus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la vitesse de rotation de la turbopompe.
- Page 37 à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par intermittence. Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation.
- Page 38 7.2.9 Mode standby de la pompe de secours Lors de l’utilisation d'une pompe de secours Pfeiffer Vacuum avec commande de la vitesse de rotation, elle peut être utilisée dans le mode standby en configurant la sortie numérique [P:019] ou [P:024]. La consommation de courant de la pompe turbomoléculaire a une influence directe sur la vitesse de rota-...
- Page 39 Utilisation Surveillance du gaz de pressurisation 1. Régler le paramètre sélectionné sur « 13 ». 2. Régler le paramètre [P:791] sur le débit de gaz de pressurisation désiré pour le seuil d'avertisse- ment. 3. Consulter le débit de gaz de pressurisation via le paramètre [P:337]. 7.2.11 Modes de ventilation La fonction «...
- Page 40 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 41 Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
- Page 42 = 0 moléculaire défaillant Err010 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err021 L'unité d’entraînement ● Version de logiciel incompa- ●...
- Page 43 Problème Causes possibles Action corrective d’erreur Err112 Erreur de groupe, pompe ● Défauts externes ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service à liquide de refroidisse- ● Appareil défectueux ● Confirmez uniquement pour la vitesse de ment rotation f = 0 Err113 Évaluation de la tempéra- ●...
- Page 44 ● Vérifiez les conditions de fonctionne- ment Wrn089 Déséquilibre élevé ● Déséquilibre du rotor ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Informations de pompe ● Erreur de communication inter- 1. Arrêtez le groupe de pompage invalides 2. Attendez que la pompe turbomolécu- laire se soit complètement immobilisée...
- Page 45 ● Adaptez le taux de remise à l'air à la ● Taux de remise à l'air trop élevé pompe Wrn801 Convertisseur de freina- ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ge défectueux Wrn806 Résistance de freinage ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service défaillante...
- Page 46 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 47 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 48 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TC 1200 E74 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 49 Semi F47-0200 EN IEC 61326-1:2021 Semi S2-0706 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...