Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M Manuel De L'utilisateur page 43

13 Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Généralités
13.2 Caractéristiques techniques
Paramètres
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Débit pour Ar
Débit pour H
2
Débit pour He
Débit pour N
2
Taux de compression pour Ar
Taux de compression pour H
Taux de compression pour He
Taux de compression pour N
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Va-
cuum:
Les valeurs maximales se réfèrent uniquement au cas où l'entrée constitue la sol-
licitation unique.
● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5
● ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des don-
nées de puissance de pompes à vide - Description générale »
● ISO 5302; 2003 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles »
● Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage
● Débit de gaz : avec refroidissement par eau, température de l'eau de refroidissement
25 °C ; pompe primaire = pompe à palettes rotatives (10 m
● Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau 25 °C
● Taux de fuite intégral : avec concentration de l'hélium à 100 %, durée de mesure de
10 s
● Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar
mbar 1
bar 1000
Pa 0,01
hPa 1
kPa 10
Torr 1,33
mm Hg
Tableau de conversion : Unités de débit de gaz
mbar·l/s
mbar·l/s
3
Pa·m /s 10
sccm 1,69 · 10
Torr·l/s 1,33
3
atm·cm /s 1,01
HiPace
DN 100 ISO-K
DN 16 ISO-KF
250 l/s
170 l/s
215 l/s
255 l/s
> 1 · 10
5 · 10
2
> 1 · 10
> 1 · 10
2
13 hPa l/s
28 hPa l/s
2
Caractéristiques techniques et dimensions
bar Pa
-3
1 · 10 100
1 1 · 10
-5
1 · 10
-3
1 · 10 100
0,01 1000
-3
1,33 · 10 133,32
1 Pa = 1 N/m
3
Pa·m /s
1 0,1
1
-2 -3
1,69 · 10
0,133
0,101
®
300 M HiPace
DN 100 CF-F
DN 16 ISO-KF
250 l/s
170 l/s
215 l/s
255 l/s
11
> 1 · 10
5
5 · 10
8
> 1 · 10
11
> 1 · 10
13 hPa l/s
28 hPa l/s
3
/h)
hPa kPa
1 0,1
5
1000 100
1 0,01 1 · 10
1 0,1
10
1,33 0,133
2
sccm Torr·l/s
59,2 0,75
592 7,5
-2
1 1,27 · 10
78,9 1
59,8 0,76
®
300 M HiPace
DN 100 ISO-F
DN 16 ISO-KF
250 l/s
170 l/s
215 l/s
255 l/s
11
> 1 · 10
5
5 · 10
8
> 1 · 10
11
> 1 · 10
13 hPa l/s
28 hPa l/s
Torr
mm Hg
0,75
750
-3 -3
7,5 · 10
0,75
1 7,5
1
3
atm·cm /s
0,987
9,87
-2
1,67 · 10
1,32
1
®
300 M
11
5
8
11
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