Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M Manuel De L'utilisateur page 11

4.2 Fonction
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4.2.1 Refroidissement
4.2.2 Paliers de rotor
4.2.3 Entraînement
La pompe turbomoléculaire HiPace 300 M forme une unité avec le contrôleur électro-
nique d'entraînement et des paliers magnétiques TM 700 (« Commande électronique
d'entraînement » dans ce qui suit). Pour assurer l'alimentation électrique, il ne faut utili-
ser que des blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum (par ex. TPS, OPS ou DCU).
4
5
3
Fig. 2: HiPace 300 M avec TM 700
3 Partie inférieure de la
pompe
3e Raccordement à la terre
4 Corps de pompe
● Refroidissement à eau
● Refroidissement à convection
● Refroidissement par air (optionnel)
En cas de surchauffe, la commande électronique d'entraînement réduit automatique-
ment la puissance absorbée. Suivant les applications et le type de HiPace, différentes
variantes de refroidissement sont disponibles.
Pompe turbomoléculaire avec paliers magnétiques actifs
● Côté vide élevé : Paliers électromagnétiques radiaux
● Côté vide primaire : Paliers électromagnétiques radiaux et axiaux
En principe, les paliers magnétiques actifs fonctionnent sans frottement et garantissant
une application sous vide sans lubrifiant. Des paliers de secours type secs sont installés
pour éviter des contacts entre le rotor et le stator.
Commande électronique d'entraînement TM 700
24
83 81 15.5
5 Pièce intermédiaire
15.5 Raccord d'eau de refroidisse-
ment
23 Commande électronique d'en-
traînement TM 700
Description du produit
3e
24 Vanne de remise à l'air
81 Raccord de purge de gaz
neutre
83 Bride de vide primaire
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