Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M Manuel De L'utilisateur page 2

Table des matières
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1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1 Documents applicables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 Consignes de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Instruction dans le texte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Abréviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5 Symboles utilisés . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Conformité d'utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.4 Non conformité d'utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3 Manutention et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1 Manutention . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.2 Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1 Types de pompes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.2 Caractéristiques de la pompe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.3 Contenu de la livraison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.1 Refroidissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.2 Paliers de rotor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.3 Entraînement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.1 Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2 Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2.1 Protection antisismique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2.2 Utilisation d'un pare-éclats ou une grille de protection . . . . . . . . . 14
5.2.3 Amortisseur de vibrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3 Positions de montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.4 Raccordement du côté vide élevé. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.4.1 Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-K . . . . . . . . . . 16
5.4.2 Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 17
5.4.3 Installation d'une bride ISO-F avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 18
5.4.4 Installation de brides CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.5 Raccorderdement du côté vide primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6 Raccordements à la pompe turbomoléculaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.6.1 Commande électronique d'entraînement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.6.2 Mise à la terre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.6.3 Alimentation et distribution électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.7 Raccordement accessoires. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.1 Vanne de remise à l'air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.2 Refroidissement par air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.3 Raccordement de la purge de gaz neutre. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.7.4 Chemise chauffante . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.7.5 Refroidissement à eau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29