Pour configurer le logiciel pour un fonctionnement en mode CI
ATTENTION
Procédure
1 Dans la vue Tune and Vacuum Control, sélectionnez Load Tune Parameters dans le
2 Si un Autotune CI n'a jamais été exécuté pour ce fichier, le logiciel invite
Tableau 17 Valeurs par défaut des limites des réglages, utilisées par l'autoréglage CI seulement
Gaz réactif
Polarité des ions
Abondance cible
Largeur cible
Maximum repousseur
Courant d'émission max., µA
Énergie des électrons max., eV
Manuel d'utilisation du système de MSD série 5977
Avant de faire passer le système en mode CI, toujours vérifier qu'il
fonctionne correctement en mode EI.
menu File et chargez le fichier de réglage PCICH4.U.
l'utilisateur à répondre à une série de boîtes de dialogue. À moins d'avoir
de bonnes raisons de les changer, accepter les valeurs par défaut.
Les valeurs de réglage ont un effet très important sur les performances du
MSD. Toujours démarrer avec les valeurs par défaut pour le réglage de la CI
et effectuer ensuite les réglages spécifiques de l'application. Consulter le
Tableau 17
pour connaître les valeurs par défaut de la boîte des limites des
réglages. Ces limites ne sont utilisées que par l'Autotune. Il ne faut pas les
confondre avec les paramètres saisis dans la boîte de dialogue d'édition des
paramètres SM « Edit MS Parameters » ni avec ceux figurant sur le rapport
de réglage.
Méthane
Positive
Négative
6
6
1x10
1x10
0.6
0.6
4
4
240
50
240
240
Utilisation en mode ionisation chimique (CI)
Isobutane
Positive
Négative
6
N/A
1x10
N/A
0.6
N/A
4
N/A
50
N/A
240
Ammoniac
Positive
Négative
6
N/A
1x10
N/A
0.6
N/A
4
N/A
50
N/A
240
4
99