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Pressions-types observées
Utilisation de la micro-jauge à vide à ionisation G3397B. Remarquer que le
régulateur de débit massique est étalonné pour le méthane et que la jauge à
vide est étalonnée pour l'azote, ces mesures ne sont donc pas précises, mais
sont une indication utile pour apprécier les pressions-types observées
(Tableau 20
Remarquer qu'il s'agit de températures-types de PCI :
Température de la source
Température du quadripôle 150 °C
Température d'interface
Débit de gaz vecteur hélium 1 ml/min
Tableau 20 Paramètres du contrôleur de débit massique settings et relevés de pression
Contrôleur
de débit
massique
(%)
10
15
20
25
30
35
40
Il faut se familiariser avec les mesures de son propre système, dans des
conditions normales de fonctionnement et surveiller les modifications qui
peuvent indiquer un problème de vide ou de débit gazeux. Les mesures varient
normalement de 30% d'un MSD et contrôleur de jauge à l'autre.
Manuel d'utilisation du système de MSD série 5977
à la page 119). Elles ont été relevées dans les conditions suivantes.
250 °C
280 °C
courants
Pression (torr)
Méthane
EI/PCI/NCI MSD (pompe
turbo « performance »)
10
–5
×
5.5
10
–5
×
8.0
10
–4
×
1.0
10
–4
×
1.2
1
–4
×
1.5
10
–4
×
2.0
10
–4
×
2.5
Utilisation en mode ionisation chimique (CI)
Ammoniac
EI/PCI/NCI MSD (pompe
turbo « performance »)
–5
×
5.0
10
–5
×
7.0
10
–5
×
8.5
10
–4
×
1.0
10
–4
×
1.2
10
–4
×
1.5
10
–4
×
2.0
10
4
119
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