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Introduction
Tableau 2 Abréviations (suite)
Abréviation
Mass flow
controller
MSD
NCI
OFN
PCI
PFDTD
PFHT
PFTBA
Quad
RF
RFPA
Torr
Turbo/
Turbopompe
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Définition
Contrôleur de débit massique
Détecteur de masse (DDM ou MSD, acronyme de Mass Selective Detector,
également souvent utilisé en français)
Négative, CI
Octafluoronaphthalène (composé de référence)
Ionisation chimique positive (Positive CI)
Perfluoro-5, 8-diméthyl-3, 6, 9-trioxydodécane (composé de référence)
2, 4, 6-tris (perfluoroheptyl)-1, 3, 5-triazine (composé de référence)
Perfluorotributylamine (composé de référence)
Filtre de masse à quadripôle
Radiofréquence
Amplificateur de puissance de la radiofréquence (acronyme de Radio Frequency
Power Amplifier)
Unité de pression, 1 mm Hg
Turbomoléculaire, pompe turbomoléculaire
Manuel d'utilisation du système de MSD série 5977