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Utilisation
Conditions préalables
● Vanne d'isolement dans la conduite à vide fermée
● Pompe à vis déconnectée du procédé
Produits consommables requis
● Gaz de balayage
Procédure
1. Ouvrez l'alimentation en gaz de balayage.
2. Faites fonctionner la pompe à vis pendant 3 à 5 minutes selon le procédé tandis que le gaz de
3. Coupez l'alimentation de gaz de balayage.
4. Arrêtez la pompe à vis.
5. Ventilez la pompe à vis.
6. Laissez la pompe à vis refroidir.
7. Fermez le débit d'eau de refroidissement.
6.6 Mise hors tension de la pompe à vide
Procédure
1. Fermez la vanne d'isolement dans la conduite à vide et isolez la pompe à vis du procédé.
2. Mettez hors circuit la pompe à vis dans chaque domaine de pression entre la pression atmosphé-
3. Fermez le débit d'eau de refroidissement.
4. Aérez la pompe à vis à la pression atmosphérique par l'intermédiaire du côté vide.
5. Veillez à ne pas aérer l'enceinte à vide par l'intermédiaire de la pompe à vis.
6. Coupez l'alimentation en ressources spécifique au processus et à la pompe (p. ex. alimentation
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balayage entre dans la pompe à vis.
– Déterminez la durée idéale de balayage en fonction du procédé.
rique et la pression finale.
de purge de gaz neutre).
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