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Gebrauchsanleitung
Gebrauch
Gebrauch
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen
Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten.
WARNUNG!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
VORSICHT!
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet,
über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
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Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
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