Page 1 Special Turbo-V 1K-G Pump model 8698961 Controller model 9698978M002 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-901-006-01 (B)
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2016 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 Special Turbo-V 1K-G Special Turbo-V 1K-G Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 3/294...
Page 4 Special Turbo-V 1K-G 4/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 5: Table Des Matières
Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali Immagazzinamento 19 Preparazione per l'installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa Uso 24 Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch...
Page 6 Contents Entsorgung 42 Mode d’emploi Consignes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44 Indications Generales Stockage Preparation a l'installation Installation 49 Fixation de la pompe 50 Utilization 52 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 59 Almacenamiento Preparación para la instalación 62...
Page 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72 Informações gerais 73 Armazenagem 75 Preparação para a instalação 76 Instalação 77 Fixação da bomba Utilização Manutenção Eliminação 84 Bedrijfshandleiding 85 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 Algemene informatie Opslag Uitpakken 90 Installatie Bevestiging van de pomp...
Page 8 Contents Generel Information 103 Opbevaring 105 Forberedelse før installation 106 Installation 107 Fastgørelse af pumpe Anvendelse 110 Vedligeholdelse 113 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 116 Allmän Information 117 Förvaring Förberedelser för installationen 120 Installation 121 Fastsättning av pump Användning 124 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 129...
Page 9 Contents Klargjøre til installasjon 133 Installasjon 134 Festing av pumpen 135 Bruk Vedlikehold 140 Eliminering 141 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä Tietoja Varastointi 147 Valmistelut asennusta varten148 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 157 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 158 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre...
Page 10 Contents A szivattyú rögzítése 164 Használat Karbantartás Megsemmisítés 169 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 172 Ogólne Informacje 173 Magazynowanie 175 Przygotowanie do instalacji 176 Instalacja Mocowanie pompy 178 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 184 13 Návod k Použití Bezpečnostní...
Page 11 Contents Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 199 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 214 Splošne Informacije 215 Shranjevanje Priprava za montažo 217 Montaža Pritrjevanje črpalke 220 Uporaba...
Page 12 Contents 16 Instructions for Use 227 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 228 General Information 229 Storage Preparation for Installation 232 Installation 233 Pump Fixing 234 Use 235 Maintenance Disposal 17 Technical Information 241 Pump Description 9698978M002 Controller Description 244 Technical Specification 245 Special Turbo-V 1K-G outline 247 Interconnections P3 –...
Page 13 Contents Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Purge Valve Installation 280 Serial Cable Installation 281 Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation 282 Pump Used with Corrosive Gases 285 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 288 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 13/294...
Page 14 Contents 14/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 15: Istruzioni Per L'uso
Special Turbo-V 1K-G User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 22 Accensione ed Uso della Special Turbo-V 1K-G 25 Arresto della Special Turbo-V 1K-G Arresto di Emergenza 26 Manutenzione Smaltimento...
Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 17: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni generali Informazioni generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 19: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Page 20: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l'installazione Preparazione per l'installazione La Special Turbo-V 1K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Special Turbo-V 1K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 21: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica ...
Page 22: Fissaggio Della Pompa
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa.
Page 23 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa La Special Turbo-V 1K-G con Navigator controller appartiene alla seconda ATTENZIONE! categoria di installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. La Special Turbo-V 1K-G ha dei connettori per gli ingres-si/uscite e per la comunicazione seriale che devono esse-re connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Page 24: Uso
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Page 25: Accensione Ed Uso Della Special Turbo-V 1K-G
Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso della Special Turbo-V 1K-G Le istruzioni seguenti si applicano alla Special Turbo-V 1K-G usata in combinazione con il Navigator Controller.
Page 26: Arresto Della Special Turbo-V 1K-G
Istruzioni per l’uso Arresto della Special Turbo-V 1K-G Per arrestare la Special Turbo-V 1K-G è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Page 27: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La Special Turbo-V 1K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 28: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 29: Gebrauchsanleitung
Special Turbo-V 1K-G User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen 31 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der Special Turbo-V 1K-G 39 Stoppen von Modell Special Turbo-V 1K-G 40 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/294...
Page 30: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 31: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 32 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine bestimmte Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 33: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Page 34: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Die Special Turbo-V 1K-G wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die Special Turbo-V 1K-G ist vorsichtig auszupacken, wobei sie vor dem Herunterfallen zu schützen ist und nicht Stößen und Vibrationen ausgesetzt werden darf.
Page 35: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ...
Page 36: Befestigung Der Pumpe
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe WARNUNG! Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengehäuse löst.
Page 37 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Die Special Turbo-V 1K-G mit Navigator Controller gehört zur zweiten VORSICHT! Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Die Special Turbo-V 1K-G hat Verbinder für den Ein- und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...
Page 38: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Page 39: Einschaltung Und Gebrauch Der Special Turbo-V 1K-G
Gebrauchsanleitung Gebrauch WARNUNG! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Einschaltung und Gebrauch der Special Turbo-V 1K-G Die nachfolgenden Anleitungen werden bei der Special Turbo-V 1K-G...
Page 40: Stoppen Von Modell Special Turbo-V 1K-G
Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen von Modell Special Turbo-V 1K-G Zum Stoppen von Modell Special Turbo-V 1K-G ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Page 41: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Special Turbo-V 1K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 42: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 43: Mode D'emploi
Special Turbo-V 1K-G User Manual Mode d’emploi Consignes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44 Indications Generales 45 Stockage Preparation a l'installation 48 Installation Fixation de la pompe 50 Utilization Mise en marche et utilisation de la Special Turbo-V 1K-G 53 Arrêt de la Special Turbo-V 1K-G 54 Arrêt d'urgence Entretien...
Page 44: Consignes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Consignes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Consignes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 45: Indications Generales
Mode d’emploi Indications Generales Indications Generales L’appareil a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement le mode d’emploi ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent. Agilent décline toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel des instructions données, d'usage impropre par un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'usage contraire à...
Page 46 Mode d’emploi Indications Generales Le présent mode d’emploi les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d'avertissement attirent l'attention de l’opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention attirent l’attention sur certaines procédures dont le ATTENTION! non-respect risque d’endommager sérieusement l'appareil.
Page 47: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température : de –20 °C à...
Page 48: Preparation A L'installation
Mode d’emploi Preparation a l'installation Preparation a l'installation La Special Turbo-V 1K-G est livrée dans un emballage de protection spécial ; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le revendeur local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller à ne pas laisser tomber la Special Turbo-V 1K-G et à...
Page 49: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi : 2 bar au-delà...
Page 50: Fixation De La Pompe
Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas d'endommagement du rotor, le raccordement pompe - système peut être soumis à un couple très important. Si le raccordement n'est pas en mesure de résister à un tel couple, la pompe risque de se désolidariser du système ou le moteur du corps de la pompe.
Page 51 Mode d’emploi Fixation de la pompe La Special Turbo-V 1K-G appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. La Special Turbo-V 1K-G dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible.
Page 52: Utilization
Mode d’emploi Utilization Utilization Ce paragraphe décrit les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Page 53: Mise En Marche Et Utilisation De La Special Turbo-V 1K-G
Mode d’emploi Utilization AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation de la Special Turbo-V 1K-G Les instructions qui suivent concernent la Special Turbo-V 1K-G utilisée en association avec le Navigator controller.
Page 54: Arrêt De La Special Turbo-V 1K-G
Mode d’emploi Utilization Arrêt de la Special Turbo-V 1K-G Pour arrêter la Special Turbo-V 1K-G, il suffit de couper la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Page 55: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien La Special Turbo-V 1K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 56: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 57: Manual De Istrucciones
Special Turbo-V 1K-G User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento 61 Preparación para la instalación 62 Instalación Fijación de la bomba 64 Encendido y Uso de la Special Turbo-V 1K-G 67 Parada de la Special Turbo-V 1K-G Parada de Emergencia 68 Mantenimiento Eliminación...
Page 58: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 59: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 60 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 61: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Page 62: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación Special Turbo-V 1K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 63: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica ...
Page 64: Fijación De La Bomba
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba.
Page 65 Manual de istrucciones Fijación de la bomba La Special Turbo-V 1K-G pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Page 66: Uso
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Page 67: Encendido Y Uso De La Special Turbo-V 1K-G
Manual de istrucciones ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. Encendido y Uso de la Special Turbo-V 1K-G Las siguientes instrucciones se aplican a Special Turbo-V 1K-G utilizada conjuntamente con el Navigator controller.
Page 68: Parada De La Special Turbo-V 1K-G
Manual de istrucciones Parada de la Special Turbo-V 1K-G Para parar la Special Turbo-V 1K-G es suficiente desenchufarlo de la corriente. El controller detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controller Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Page 69: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Special Turbo-V 1K-G no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 70: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 71: Manual De Istruções
Special Turbo-V 1K-G User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 78 Utilização Acendimento e Utilização da Special Turbo-V 1K-G 81 Paragem da Special Turbo-V 1K-G Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...
Page 72: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 73: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 74 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...
Page 75: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Page 76: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação A Special Turbo-V 1K-G é fornecida numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 77: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica ...
Page 78: Fixação Da Bomba
Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba.
Page 79 Manual de Istruções Fixação da bomba A Special Turbo-V 1K-Gpertence à segunda categoria de instalação (ou CUIDADO! sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. A Special Turbo-V 1K- G tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão.
Page 80: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
Page 81: Acendimento E Utilização Da Special Turbo-V 1K-G
Manual de Istruções Utilização ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Acendimento e Utilização da Special Turbo-V 1K-G As seguintes instruções se aplicam à...
Page 82: Paragem Da Special Turbo-V 1K-G
Manual de Istruções Utilização Paragem da Special Turbo-V 1K-G Para deter a Special Turbo-V 1K-G é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Page 83: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção A Special Turbo-V 1K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 84: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 85: Bedrijfshandleiding
Special Turbo-V 1K-G User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 Algemene informatie 87 Opslag 89 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 93 Gebruik Inschakeling en gebruik van de Special Turbo-V 1K-G 96 Afzetten van de Special Turbo-V 1K-G Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 99 Vertaling van de originele instructies...
Page 86: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 87: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 88 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 89: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Page 90: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Special Turbo-V 1K-G wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Special Turbo-V 1K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 91 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 91/294...
Page 92: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max.
Page 93: Bevestiging Van De Pomp
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken.
Page 94 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De Special Turbo-V 1K-G met Navigator controller behoort tot de tweede VOORZICHTIG! installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De Special Turbo-V 1K-G bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is.
Page 95: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.Raak de turbopomp en...
Page 96: Inschakeling En Gebruik Van De Special Turbo-V 1K-G
Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de Special Turbo-V 1K-G De volgende instructies zijn van toepassing op de Special Turbo-V 1K- G gebruikt in combinatie met de Navigator controller. Om de Special Turbo-V 1K-G in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien.
Page 97: Noodstop
Bedrijfshandleiding Gebruik WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen.
Page 98: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De Special Turbo-V 1K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 99: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 100 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 100/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 101: Istruktionsbog
Special Turbo-V 1K-G User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 108 Anvendelse Start og anvendelse af Special Turbo-V 1K-G 111 Stop af Special Turbo-V 1K-G Nødstop Vedligeholdelse 113 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 101/294...
Page 102: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 103: Generel Information
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 104 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 105: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, ...
Page 106: Forberedelse Før Installation
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation Special Turbo-V 1K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Special Turbo-V 1K-G ikke tabes eller udsættes for stød eller vibrationer.
Page 107: Installation
Istruktionsbog Installation Installation Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk ...
Page 108: Fastgørelse Af Pumpe
Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Fastgørelse af pumpe ADVARSEL! Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning.
Page 109 Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Special Turbo-V 1K-G med Navigator controller hører til den anden FORSIGTIG! installationsklasse (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Special Turbo-V 1K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation.
Page 110: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80° C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Page 111: Start Og Anvendelse Af Special Turbo-V 1K-G
Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af Special Turbo-V 1K-G De nedenstående instruktioner gælder for Special Turbo-V 1K-G brugt sammen med Navigator controller. For at starte Special Turbo-V 1K-G er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik.
Page 112: Stop Af Special Turbo-V 1K-G
Istruktionsbog Anvendelse Stop af Special Turbo-V 1K-G For at afbryde Special Turbo-V 1K-G er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Controller'en afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Page 113: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Special Turbo-V 1K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 114: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 115: Bruksanvisning
Special Turbo-V 1K-G User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar116 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 120 Installation Fastsättning av pump 122 Användning Start och användning av Special Turbo-V 1K-G 125 Att stänga av Special Turbo-V 1K-G 126 Nödstopp Underhåll Bortskaff Översättning av originalinstruktionerna 115/294...
Page 116: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 117: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 118 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Page 119: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Page 120: Förberedelser För Installationen
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen Special Turbo-V 1K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Special Turbo-V 1K-G inte tappas eller utsätts för stötar eller vibrationer vid uppackningen.
Page 121: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) ...
Page 122: Fastsättning Av Pump
Bruksanvisning Fastsättning av pump Fastsättning av pump VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I så...
Page 123 Bruksanvisning Fastsättning av pump Special Turbo-V 1K-G med Navigator controller tillhör den andra OBSERVER! installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. Special Turbo-V 1K-G är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så...
Page 124: Användning
Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Page 125: Start Och Användning Av Special Turbo-V 1K-G
Bruksanvisning Användning VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Start och användning av Special Turbo-V 1K-G Instruktionerna nedan gäller Special Turbo-V 1K-G som används i kombination med Navigator controller.
Page 126: Att Stänga Av Special Turbo-V 1K-G
Bruksanvisning Användning Att stänga av Special Turbo-V 1K-G Om du vill stänga av Special Turbo-V 1K-G behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Page 127: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Special Turbo-V 1K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC. Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Page 128: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 129: Instruksjon Manual
Special Turbo-V 1K-G User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 130 Generell informasjon 131 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk 137 Starte og bruke Special Turbo-V 1K-G 138 Stoppe Special Turbo-V 1K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 129/294...
Page 130: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 131: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 132: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Page 133: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Klargjøre til installasjon Special Turbo-V 1K-G leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må...
Page 134: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Figur 1 Installasjon Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) ...
Page 135: Festing Av Pumpen
Instruksjon Manual Festing av pumpen Figur 2 Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Special Turbo-V 1K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment.
Page 136 Instruksjon Manual Festing av pumpen Den følgende tabellen beskriver antall skruer som er nødvendige for ISO-160-F-flensen, og tilhørende strammemoment. Tab. 1 FLENS ANT. STRAMME- MOMENT ISO 160 F 25 Nm Til flensene F må stålskruene være av klasse > 8.8 Special Turbo-V 1K-G kan installeres i en valgfri stilling.
Page 137: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C. Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, ADVARSEL! eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Page 138: Starte Og Bruke Special Turbo-V 1K-G
Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke Special Turbo-V 1K-G Instruksjonene nedenfor gjelder Special Turbo-V 1K-G brukt sammen med Navigator controller. Special Turbo-V 1K-G startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen deaktiveres, slik at etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START.
Page 139: Stoppe Special Turbo-V 1K-G
Instruksjon Manual Bruk Stoppe Special Turbo-V 1K-G Special Turbo-V 1K-G stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Page 140: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Special Turbo-V 1K-G er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 141: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 142 Instruksjon Manual Eliminering 142/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 143: Ohjekäsikirja
Special Turbo-V 1K-G User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 144 Yleisiä Tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 150 Käyttö 152 Special Turbo-V 1K-Gin käynnistys ja käyttö Special Turbo-V 1K-Gin pysäyttäminen Hätäpysäytys 154 Huolto 155 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 143/294...
Page 144: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 144/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 145: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä Tietoja Yleisiä Tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 146 Ohjekäsikirja Yleisiä Tietoja Näissä käyttöohjeissa noudatetaan seuraavia merkintöjä VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 146/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 147: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). ...
Page 148: Valmistelut Asennusta Varten148
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Special Turbo-V 1K-G toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Special Turbo- V 1K-Gin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Page 149: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen ...
Page 150: Pumpun Kiinnitys
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä olevien laitteiden vaurioita.
Page 151 Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Navigator controller -ohjaimella varustettu Special Turbo-V 1K-G kuuluu toiseen HUOMIO! EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. Special Turbo-V 1K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä...
Page 152: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.
Page 153: Special Turbo-V 1K-Gin Käynnistys Ja Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Special Turbo-V 1K-Gin käynnistys ja käyttö Seuraavat ohjeet koskevat Special Turbo-V 1K-G -pumppua, kun sitä käytetään yhdessä Navigator controller -ohjaimen kanssa. Special Turbo-V 1K-Gin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start”...
Page 154: Hätäpysäytys
Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset täyttyvät.
Page 155: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Special Turbo-V 1K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 156: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 157: Felhasználói Kézikönyv
Special Turbo-V 1K-G User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 159 Tárolás Előkészítés telepítésre 162 Telepítés A szivattyú rögzítése 164 Használat A Special Turbo-V 1K-G bekapcsolása és 166 A Special Turbo-V 1K-G kikapcsolása 167 Vészleállítás 167 Karbantartás Megsemmisítés 169 Az eredeti utasítás fordítása 157/294...
Page 158: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 159: Általános Információk
Felhasználói Kézikönyv Általános információk Általános információk A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 160 Felhasználói Kézikönyv Általános információk Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszély üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 161: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Page 162: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Special Turbo-V 1K-Got különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A Special Turbo-V 1K-G kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és ne tegye ki bármilyen hirtelen ütésnek vagy rázkódásnak. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Page 163: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett ...
Page 164: A Szivattyú Rögzítése
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyúnak a rendszerhez való csatlakozása jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem elegendő a nyomaték elviselésére, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motorház leválhat a szivattyú burkolatáról. Ebben az esetben fémrészecskék állhatnak ki a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly sérülést vagy halált és/vagy környezet károsodást okozhat.
Page 165: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához.
Page 166: A Special Turbo-V 1K-G Bekapcsolása És
Felhasználói Kézikönyv Használat A Special Turbo-V 1K-G bekapcsolása és használata Az alábbi utasításokat a Navigator controllerrel együtt használt Special Turbo-V 1K-G esetében kell alkalmazni. A Special Turbo-V 1K-G bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Page 167: A Special Turbo-V 1K-G Kikapcsolása
Felhasználói Kézikönyv Használat A Special Turbo-V 1K-G kikapcsolása A Special Turbo-V 1K-G kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Page 168: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Special Turbo-V 1K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát arra jogosultsággal rendelkező személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 169: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címken jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 170 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 170/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 171: Podrecznik Instrukcji
Special Turbo-V 1K-G User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 173 Magazynowanie 175 Przygotowanie do instalacji 176 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie urządzenia Special Turbo-V 1K-G Zatrzymanie systemu Special Turbo-V 1K-G Zatrzymanie Alarmowe 182 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej...
Page 172: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu wirnika ze stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, może nastąpić...
Page 173: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Page 174 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Podręcznik ten opiera się na następujących konwencjach: ZAGROŻENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS Komunikaty zwiększonej uwagi są...
Page 175: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie  mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od -20 °C do 70 °C ...
Page 176: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Pompa Special Turbo-V 1K-G jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku pompy Special Turbo-V 1K-G ani nie poddawać...
Page 177: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Nie instalować i/lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym ...
Page 178: Mocowanie Pompy
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROŻENIE! W przypadku uszkodzenia na wirniku, połączenie między pompą a systemem może być poddane odpowiednio wysokiemu momentowi. Jeżeli połączenie jest niewystarczające aby wytrzymać dany moment, pompa może się odczepić od systemu lub silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty metalu mogą...
Page 179 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Pompa Special Turbo-V 1K-G Ze sterownikiem typu Navigator controller należy UWAGA! do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Pompa Special Turbo-V 1K-G posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą...
Page 180: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. ZAGROŻENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Page 181: Włączenie I Użytkowanie Urządzenia Special Turbo-V 1K-G
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie ZAGROŻENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i Użytkowanie urządzenia Special Turbo-V 1K-G Niżej podane instrukcje mają zastosowanie w przypadku pompy Special Turbo-V 1K-G stosowanej razem ze sterownikiem typu Navigator controller.
Page 182: Zatrzymanie Systemu Special Turbo-V 1K-G
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu Special Turbo-V 1K-G Aby zatrzymać Urządzenie Special Turbo-V 1K-G wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROŻENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się...
Page 183: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa Special Turbo-V 1K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50 °C.
Page 184: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdujące się na etykiecie napisu "WEEE" Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem zarządzenia "WEEE" Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób nim oznaczony, nie może być przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemysłowymi odpadami, lecz musi być...
Page 185: Návod K Použití
Special Turbo-V 1K-G User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 186 Všeobecné Informace 187 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití 194 Zapnutí a používání vývěvy Special Turbo-V 1K-G Zastavení Special Turbo-V 1K-G 196 Nouzové zastavení 196 Údržba 197 Likvidace Překlad originálního návodu...
Page 186: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 187: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné Informace Všeobecné Informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 188 Návod k Použití Všeobecné Informace V této příručce jsou používána následující označení: NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA Pozor hlášení...
Page 189: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C ...
Page 190: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Special Turbo-V 1K-G je dodávánave speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby Special Turbo-V 1K-G nespadla, a nevystavujte ji nenadálým nárazům, otřesům ani vibracím.
Page 191: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem ...
Page 192: Montáž Vývěvy
Návod k Použití Montáž vývěvy Montáž vývěvy NEBEZPEČÍ! Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V tomto případě...
Page 193 Návod k Použití Montáž vývěvy Podle směrnice EN 61010-1 patří Special Turbo-V 1K-G se zařízením Navigator POZOR! controller do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva Special Turbo-V 1K-G je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které...
Page 194: Použití
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená...
Page 195: Zapnutí A Používání Vývěvy Special Turbo-V 1K-G
Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy Special Turbo-V 1K-G Následující pokyny se aplikují na Special Turbo-V 1K-G použitou v kombinaci se zařízením Navigator controller.
Page 196: Zastavení Special Turbo-V 1K-G
Návod k Použití Použití Zastavení Special Turbo-V 1K-G Pro zastavení Special Turbo-V 1K-G je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být regulátor čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Page 197: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Special Turbo-V 1K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 198: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 199: Návod Na Obsluhu
Special Turbo-V 1K-G User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 201 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 204 Inštalácia Upevnenie vývevy 206 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Special Turbo-V 1K-G Zastavenie Special Turbo-V 1K-G 209 Núdzové zastavenie Údržba 210 Likvidácia Preklad originálneho návodu...
Page 200: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 201: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 202 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Page 203: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Page 204: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Special Turbo-V 1K-G je dodávaná v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby Special Turbo-V 1K-G nespadla a nevystavujte ju náhlym nárazom, otrasom alebo vibráciám.
Page 205: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku ...
Page 206: Upevnenie Vývevy
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍE! Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt motora od plášťa vývevy.
Page 207: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. NEBEZPEČÍE! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore.
Page 208: Zapnutie A Použitie Zariadenia Special Turbo-V 1K-G
Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Special Turbo-V 1K-G Nasledujúce pokyny sa aplikujú na Special Turbo-V 1K-G použitú v kombinácii so zariadením Navigator controller. Ak chcete zapnúť zariadenie Special Turbo-V 1K-G, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná...
Page 209: Zastavenie Special Turbo-V 1K-G
Návod na Obsluhu Použitie Zastavenie Special Turbo-V 1K-G Ak chcete zastaviť Special Turbo-V 1K-G, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍE! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie Turbo-V napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
Page 210: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Special Turbo-V 1K-G nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 211: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 212 Návod na Obsluhu Likvidácia 212/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 213: Priročnik Za Navodila
Special Turbo-V 1K-G User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 214 Splošne Informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Priprava za montažo Uporaba Vklop in uporaba naprave Special Turbo-V 1K-G Izklop naprave Special Turbo-V 1K-G 223 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku...
Page 214: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 215: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne Informacije Splošne Informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik natančno prebrati navodila in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe s strani nepooblaščenega osebja in nedovoljenega poseganja v opremo ali kakršnekoli uporabe, ki ni v skladu s standardi.
Page 216 Priročnik za Navodila Splošne Informacije Priročnik navaja naslednje svarilne znake SVARILO! Opozorila so za to, da usmerijo pozornost uporabnika na določene postopke, pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomembne informacije iz besedila.
Page 217: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Page 218 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave Special Turbo- OPOMBA V 1K-G. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Slika 1 218/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 219: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Naprave ne nameščajte ali uporabljajte v okolju, ki je izpostavljeno atmosferskim agentom (dež, sneg, led), prahu, agresivnim plinom ali v okoljih, kjer obstaja nevarnost eksplozije ali požara. Med obratovanjem je treba upoštevati naslednje ambientne pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere ...
Page 220: Pritrjevanje Črpalke
Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Pritrjevanje črpalke SVARILO! Če pride do napake na rotorju, potem lahko med povezavo črpalke s sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega navora, se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz nosilca črpalke.
Page 221: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Page 222: Vklop In Uporaba Naprave Special Turbo-V 1K-G
Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave Special Turbo-V 1K-G Sledeča navodila veljajo pri uporabi Special Turbo-V 1K-G v kombinaciji z Navigator controller. Za vklop Special Turbo-V 1K-G je dovolj že dovajanje napajalne napetosti. Vgrajeni controller avtomatsko zazna prisotnosti signalov za spajanje in zagon ter zažene črpalko.
Page 223: Izklop Naprave Special Turbo-V 1K-G
Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave Special Turbo-V 1K-G Za izklop naprave Special Turbo-V 1K-G morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajeni kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Page 224: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave Special Turbo-V 1K-G ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite Special TV 1K-G napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 225: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen oznake "WEEE" na etiketah. Omenjeni znak je v skladu z direktivo ES pod imenom "WEEE". Ta znak (ki velja le v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek ne smemo odstraniti skupaj z ostalimi komunalnimi oziroma industrijskimi odpadki, temveč v skladu z določili za odlaganje posebnih odpadkov.
Page 226 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 226/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 227: Instructions For Use
Special Turbo-V 1K-G User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 228 General Information Storage Preparation for Installation 232 Installation Pump Fixing Switching on and Use of Special Turbo-V 1K-G 236 Special Turbo-V 1K-G Switching off 237 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions...
Page 228: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 229: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 230 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! Warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. Notes contain important information taken from the text. NOTE The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION!
Page 231: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Page 232: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Special Turbo-V 1K-G is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 233: Installation
Instructions for Use Installation Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure ...
Page 234: Pump Fixing
Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING! If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope.
Page 235: Use
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Page 236: Switching On And Use Of Special Turbo-V 1K-G
Instructions for Use Switching on and Use of Special Turbo-V 1K-G The following instructions apply to the Special Turbo-V 1K-G used togheter with Navigator Controller. To switch on the Special Turbo-V 1K-G it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Page 237: Special Turbo-V 1K-G Switching Off
Instructions for Use Special Turbo-V 1K-G Switching off To switch off the Special Turbo-V 1K-G it is necessary to remove the mains. The controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Page 238: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Special Turbo-V 1K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 239: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 240 Instructions for Use Disposal 240/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 241: Technical Information
Special Turbo-V 1K-G User Manual Technical Information Pump Description 243 9698978M002 Controller Description 244 Technical Specification 245 Special Turbo-V 1K-G outline Interconnections 249 P3 – Vent P4 – External Fan 251 J1 - In-Out Signal Description 252 How to Connect the Output Open Collector of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller 260 J2 –...
Page 242 Technical Information Vent Accessories 276 Navigator Controller Compatible Vent Valve Model 9699834 Vent Device Model 9699831 278 Purge Valve Installation Serial Cable Installation Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation 282 Bottom Mounting 282 Fore-Vacuum Pump Connection 283 Electrical Connection Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 242/294...
Page 243: Pump Description
Technical Information Pump Description Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump.
Page 244: 9698978M002 Controller Description
Technical Information 9698978M002 Controller Description 9698978M002 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. The power supply, together with the 3-phase output, converts the single phase AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump.
Page 245: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Pumping speed (without inlet screen) 750 l/s 810 l/s 950 l/s 680 l/s Compression ratio >5 x 10 >1 x 10 1 x 10 2 x 10 Base pressure with recommended < 1 x 10 mbar forepump (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that...
Page 246 Technical Information Technical Specification Power supply: Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input power: 600 VA Stand-by power: 30 to 35 W Max operating power: 350 W with water Temp.<25 °C (WATER cooling setting) 300 W with water Temp.
Page 247: Special Turbo-V 1K-G Outline
Technical Information Special Turbo-V 1K-G outline Special Turbo-V 1K-G outline The following figures show the Special Turbo-V 1K-G outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 3 8698961 (ISO 160 F inlet flange – KF25 foreline flange) Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 247/294...
Page 248 Technical Information Special Turbo-V 1K-G outline Figure 4 Pumping speed diagram for 8698961 turbopump model, with a 20 m /h foreline pump Figure 5 Graph of compression ratio vs foreline pressure 248/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 249: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the Special Turbo-V 1K-G interconnections with Navigator controller. Technical information described in the following paragraphs refer to the NOTE standard Navigator controller (model 9698978). Compared to standard model 9698978, controller model 9698978M002 has the following special characteristics: ...
Page 250: P3 - Vent
Technical Information P3 – Vent Figure 6 P3 – Vent Figure 7 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 250/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 251: P4 - External Fan
Technical Information P4 – External Fan P4 – External Fan Figure 8 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. J1 - In-Out Figure 9 This connector carries all the input and output signals to remote control the Special Turbo-V 1K-G.
Page 252: Signal Description
Technical Information J1 - In-Out Tab. 3 PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT SPARE FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND ...
Page 253 Technical Information J1 - In-Out SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: frequency: 100 Hz +/-20 %  amplitude: 24 V max  duty cycle range: from 25 % to 75 % ...
Page 254 Technical Information J1 - In-Out Figure 11 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold.
Page 255 Technical Information J1 - In-Out Figure 12 The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1 % of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Page 256: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller
Technical Information J1 - In-Out MATING CONNECTOR Figure 13 How to Connect the Output Open Collector of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Special Turbo-V 1K-G to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 257 Technical Information J1 - In-Out Figure 14 Case 1 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 257/294...
Page 258 Technical Information J1 - In-Out Figure 15 Case 2 with relay utilisation 258/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 259 Technical Information J1 - In-Out Figure 16 Case 2 with transistor utilisation Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 259/294...
Page 260: How To Connect The Outputs Of The Controller
Technical Information J1 - In-Out How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and Figure 17 Typical output connection...
Page 261 Technical Information J1 - In-Out Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME SPARE TX (RS232) RX (RS232) SPARE A + (RS485) SPARE B – (RS485) RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional).
Page 262: Rs 232/Rs 485 Communication Description
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
Page 263 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02  <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) ...
Page 264 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>...
Page 265: Examples
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 265/294...
Page 266 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 266/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 267: Window-Meanings
Technical Information Window-Meanings Window-Meanings Tab. 7 Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop Start = 1 (in remote mode the Stop = 0 window is a read only) Remote Remote = 1 (default) or Serial Serial = 0 configuration (default = 1) Soft Start YES = 1...
Page 268 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ To reset write ‘1’ cycle number reset Interlock type Impulse = 0 (default = 1)
Page 269 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 70 Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4...
Page 270 Technical Information Window-Meanings 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n.
Page 271: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 20 The inlet screen mod. 9699302 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Page 272 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 22 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. ISO 160F DIMENSIONS: mm [inches] Figure 23 272/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 273: Water Cooling Kit Installation
Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted. The Special Turbo-V 1K-G must be always water cooled. The two model part numbers are: 9699825 and 9699826. Figure 24 Model 9699825 The customer can alternatively order the 90 °...
Page 274 Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the kit 9699826 kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 26 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 27 274/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 275 Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Page 276: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. Navigator Controller Compatible Vent Valve Model 9699834 Figure 28 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
Page 277 Technical Information Vent Accessories Figure 29 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 30 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”).
Page 278: Vent Device Model 9699831
Technical Information Vent Accessories Vent Device Model 9699831 Figure 31 The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). This value can be used only with rack controller. To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below).
Page 279 Technical Information Vent Accessories Figure 33 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B) 279/294...
Page 280: Purge Valve Installation
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 34 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as...
Page 281: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the Special Turbo-V 1K-G or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Page 282: Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation
Technical Information Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation The controller can be mounted on the pump bottom. To install the controller execute the following procedures. Bottom Mounting See the following figure. Turn the pump upside-down; Place the three washers on the pump bottom in correspondence of three hole at 120°;...
Page 283: Fore-Vacuum Pump Connection
Technical Information Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation Figure 37 Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 25 NW is available to connect the Special Turbo-V 1K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 284: Electrical Connection
Technical Information Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation Electrical Connection Figure 38 The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pin E is connected to the pump ground, pins G and H are not connected, pins A and F reserved for Agilent.
Page 285: Pump Used With Corrosive Gases
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Page 286 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 39 Purge layout 286/294 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (B)
Page 287: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Page 288: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 8 Description Part number Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long 9699957 Serial cable and Navigator Software 9699883 Inlet screen ISO 160 9699304 Water cooling kit (hose tail G ¼) 9699825 Water cooling kit (Inox G ¼)
Page 294 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

8698961 9698978m002

Agilent Technologies SpecialTurbo-V 1K-G Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

Instructions for Use

Technical Information

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies SpecialTurbo-V 1K-G

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies SpecialTurbo-V 1K-G