Agilent Technologies PPM-48 Guide De L'utilisateur page 24

Réglage du processeur
24
Sortie du
collecteur
De la source
de gaz ou du
filtre
Illustration 7 Raccordements des gaz du processeur collecteur à
pression positive 48 d'Agilent
Sortie du
collecteur
Illustration 8 Raccordements des gaz du processeur collecteur à
pression positive 96 d'Agilent
Guide de l'utilisateur du processeur collecteur à pression positive
Orifice
d'admission
de gaz
Orifice
d'admission
de gaz
De la
source de
gaz ou du
filtre