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Introduction
1.1
Portée et définitions
Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation, d'entretien et de stockage des pompes
turbomoléculaires hybrides EXT556H de Edwards. Lisez et respectez toutes les instructions qui y figurent.
La pompe EXT556H est conçue pour être utilisée avec un contrôleur EXC ou EXDC de Edwards. Lisez ce manuel et
celui accompagnant le contrôleur avant d'installer ou d'utiliser l'équipement. Le manuel du contrôleur contient des
informations détaillées sur l'installation électrique.
Les informations de sécurité importantes énoncées dans ce manuel sont mises en évidence dans des encadrés
intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. Vous devez en respecter les consignes. L'utilisation de ces AVERTISSEMENT
et ATTENTION est définie ci-dessous.
Un message Avertissement est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque
d'entraîner mort ou blessure.
Un message Attention est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque d'endommager
l'équipement, le matériel et le processus.
Conformément aux recommandations de la norme EN61010, les symboles d'avertissement ci-dessous peuvent
apparaître sur la pompe ou ses accessoires :
Avertissement – consulter la documentation fournie.
Avertissement – risque de choc électrique.
Avertissement – surfaces chaudes.
Avertissement – De puissantes forces d'attraction seront subies si la pompe est exposée à des champs
magnétiques.
Les unités utilisées dans l'ensemble de ce manuel sont conformes au système SI d'unités de mesure. De même,
3
l'abréviation "sccm" (cm
min
une température ambiante de 0 °C et une pression de 1013 mbars (1,013 x 10
© Edwards Limited 2008. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
AVERTISSEMENT
ATTENTION
-1
) est utilisée pour spécifier des débits ; elle correspond à un débit de 1 cm
B777-50-883 Issue C
5
Pa).
3
-1
min
à
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