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Edwards EXT Serie Mode D'emploi page 21

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Si la bride d'admission de la pompe EXT556H n'est pas raccordée à un système de vide rigide et solidement fixé,
assurez-vous que le socle de la pompe est fixé à un support solide. Otez les quatre pieds et fixez la pompe en plaçant
huit boulons M8 dans les orifices taraudés prévus dans le socle de la pompe. Ces boulons doivent être conformes à la
norme ISO 898-1 classe 8.8 ou supérieure et serrés approximativement à un couple de 7 Nm. Si vous utilisez un
refroidisseur par eau WCX555, effectuez le montage via la plaque de refroidissement dans les orifices taraudés du
socle de la pompe.
Si l'admission de la pompe est raccordée au système de vide à l'aide d'un support anti-vibratoire, utilisez les orifices
taraudés du socle de la pompe pour fixer cette dernière à un support solide comme décrit ci-dessus. Vous pouvez
également monter des dispositifs de retenue appropriés pour éviter tout mouvement de la pompe et tout bris du
support anti-vibratoire dans le cas improbable d'un grippage du rotor de la pompe.
3.3.3
Raccord au refoulement
Utilisez des raccords et des tuyaux de vide appropriés pour raccorder la bride NW de l'orifice de refoulement à votre
pompe secondaire. Employez éventuellement des soufflets ou des tuyaux flexibles pour réduire la transmission de
vibrations de la pompe secondaire à la pompe EXT556H.
Nous recommandons l'utilisation d'une pompe secondaire RV de Edwards. La taille minimum de la pompe secondaire
requise est indiquée au
Tableau
faites fonctionner la pompe à un débit ou à une pression d'admission élevée ou si vous la purgez.
Si vous comptez amorcer la pompe EXT par l'orifice interétage d'une autre pompe turbomoléculaire, veillez à
ce que la pression de refoulement ne tombe pas en deçà de 5 x 10
refoulement inférieures augmentent la vitesse d'évaporation du lubrifiant et réduisent donc la durée de vie
des roulements.
3.4
Options de remise à l'air, raccordement et commande de la
vanne de remise à l'air
Pour préserver la propreté de votre système de vide, nous recommandons de remettre à l'air la pompe ou le système
de vide, à chaque arrêt de la pompe, lorsque la vitesse de la pompe EXT556H se situe entre la vitesse de rotation
maximale et 50 % de celle-ci. Au-delà de 50 % de la vitesse de rotation maximale, le rotor tourne assez rapidement
pour éliminer toute huile à base d'hydrocarbures de la pompe secondaire. Pour la remise à l'air, choisissez l'une des
méthodes suivantes :
Utilisez un accessoire de remise à l'air (électrovanne) TAV5 ou TAV6 (voir
remise à l'air manuelle.
Utilisez une électrovanne de remise à l'air TAV5 ou TAV6 raccordée à une bride adéquate de votre système de
vide en amont de la pompe turbomoléculaire.
Utilisez une autre vanne raccordée à votre système de vide en amont de la pompe turbomoléculaire.
La vitesse maximale de montée en pression est indiquée à la
Tableau 7 – Diamètre de l'orifice du restricteur de remise à l'air (avec pression atmosphérique à l'admission)
Volume du système de vide (litres)
© Edwards Limited 2008. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
5. Vous devrez peut-être utiliser une pompe secondaire de plus grande taille si vous
ATTENTION
< 20
< 10
< 5
< 2
-4
-2
mbar (5 x 10
Section
Figure
4.
Diamètre de l'orifice (mm)
< 1,0
< 0,7
< 0,5
< 0,35
B777-50-883 Issue C
Pa). Des pressions de
7) au lieu de la vanne de
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