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MANUEL DE L'UTILISATEUR
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Traduction d'original
PKR 36X ∣ IKR 36X
Point de mesure cathode froide/Pirani | Point de mesure cathode froide

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Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum PKR 36 Serie

  • Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original PKR 36X ∣ IKR 36X Point de mesure cathode froide/Pirani | Point de mesure cathode froide...
  • Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
  • Page 3 Responsabilité et garantie Conditions propriétaire Qualification personnelle 2.9.1 Garantir la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur Description du produit Fonction Interrupteur et affichage de l’état...
  • Page 4 Identification des erreurs sur la chambre de mesure Expédition Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des jauges Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange Accessoires 14.1 Informations sur les accessoires 14.2 Commande d'accessoires Caractéristiques techniques et dimensions...
  • Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Variantes PKR basse tension Tab. 3: Variantes PKR courant fort Tab. 4: Variantes IKR basse tension Tab. 5: Variantes IKR courant fort Tab. 6: Abréviations utilisées Tab. 7: Conditions ambiantes autorisées Tab.
  • Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Configuration de mesure PKR Fig. 2: Interrupteur et DEL Fig. 3: Raccord à vide Fig. 4: Unité électronique Fig. 5: Schéma de raccordement Fig. 6: Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Fig.
  • Page 7 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus im- portantes pour une utilisation sécurisée.
  • Page 8 Variantes IKR courant fort Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
  • Page 9 A propos de ce manuel 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à...
  • Page 10 Marque déposée de Swagelok Company Tab. 6: Abréviations utilisées 1.4 Justificatif de marque ● FullRange ® est une marque de produit Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann ® est une marque de produit Hirschmann GmbH. ● Scotch-Brite ® est une marque de produit 3M Company.
  • Page 11 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
  • Page 12 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
  • Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi- ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra- tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à...
  • Page 14 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité...
  • Page 15 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ●...
  • Page 16 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
  • Page 17 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Point de mesure PKR Le point de mesure a 2 systèmes de mesure : ● Système de mesure Pirani ● Système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé Le circuit de mesure Pirani est toujours enclenché.
  • Page 18 Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
  • Page 19 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
  • Page 20 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ►...
  • Page 21 Installation AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
  • Page 22 Installation ► Une fois l’interrupteur et le bouton du point de mesure montés, vérifiez qu’ils sont aisément acces- sibles avec le stylet. ► Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement pos- sible après le démontage de l’unité électronique. –...
  • Page 23 ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité...
  • Page 24 Installation Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum disponible dans les accessoires ActiveLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ● Prise de câble Hirschmann Raccordement électrique...
  • Page 25 Installation 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'ali- mentation et le boîtier est ≤ 6 V. 6.
  • Page 26 Contrôle du point de mesure IKR avec un point de mesure Pirani Sur les appareils de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum avec au moins 2 raccordements de points de mesure, le point de mesure IKR peut être commandé...
  • Page 27 Fonctionnement 6.2 Conversion du signal de mesure et de la pression PKR 1E+04 1E+02 torr 1E+00 1E–02 1E–04 1E–06 1E–08 1E–09 0.0 0.5 10.5 1.217 1.397 U [V] Fig. 7: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression Mesure des signaux [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p)
  • Page 28 Fonctionnement 6.3 Conversion du signal de mesure et de la pression IKR 1E+00 1E–01 1E–02 torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 10.0 U [V] Fig. 8: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression Signal de mesure [V] Signal de mesure (U)
  • Page 29 Fonctionnement p [hPa] Freon 12 –1 Water vapor –2 –3 –2 –1 4 6 8 4 6 8 4 6 8 4 6 8 [hPa] Fig. 9: Domaine de pression > 10 hPa exclusivement avec fonctionnement Pirani PKR p [hPa] –1 –2 –3...
  • Page 30 Fonctionnement p [hPa] Xe Kr Ne He –3 –4 –5 –6 –7 –7 –6 –5 –4 –3 –2 [hPa] Fig. 11: Pression affichée IKR Facteurs de correction Dans le domaine de pression < 10 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé...
  • Page 31 Fonctionnement Type de gaz Facteur de correction (C) Vapeur d’eau Dichlorodifluorométhane (CCl , R12) Hélium (He) Néon (Ne) Argon (Ar) Krypton (Kr) Xénon (Xe) Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 14: Facteurs de correction de calibrage pour la plage de pression 0,02 hPa <...
  • Page 32 Fonctionnement La contamination du jauge dépend ● Pression dans l’enceinte à vide ● du type de fluide de process ● Contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, par- ticules de process, etc.) ● Durée de service Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10 hPa et 10 hPa peut causer une contami-...
  • Page 33 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ►...
  • Page 34 Démontage Fig. 12: Démontage de la jauge 1 Joint avec anneau de centrage Pièce de tensionnement 2 Capuchon de protection Retrait de la jauge 1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge. 2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 3.
  • Page 35 Le circuit de mesure dominant à cathode froide pour le domaine basse pression (< 1 × 10 hPa) a été soumis à un calibrage fixe par Pfeiffer Vacuum au départ d’usine. Le calibrage HV du circuit de mesure Pirani est automatiquement effectué pendant le fonctionnement à des pressions de 1 × 10 hPa.
  • Page 36 – Le calibrage a échoué cette fois-ci. 8.2 Maintenance du point de mesure IKR Pfeiffer Vacuum a calibré le point de mesure à l’usine sur les valeurs standards. Le point de mesure est sans entretien. Remplacement des composants défectueux ►...
  • Page 37 Maintenance 8.3 Démontage de la jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
  • Page 38 Maintenance 8.4 Remplacement de l’aide d'amorçage AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
  • Page 39 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
  • Page 40 ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de ser- vice Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
  • Page 41 Maintenance 8.6 Assemblage de la jauge DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de con- tact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ►...
  • Page 42 Maintenance Fig. 19: Assemblage de la jauge 1 Chambre de mesure Chambre de mesure (complète) 2 Unité électronique Circlip 3 Vis moletée Chambre d'ionisation Raccordement de la jauge PKR 1. Remplacez l’aide d'amorçage comme requis (voir chapitre « Remplacement de l’aide d'amorça- ge », page 38).
  • Page 43 Une anomalie de l’équipement résultant de l’usure ou de pièces d’usure (comme la cham- bre d’ionisation) n’est pas couverte par la garantie. Rectification des dysfonctionnements (Reset) En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes. 9.1 Dépannage...
  • Page 44 Anomalies Anomalie Cause pos- Action corrective sible « ST » « HV- ST » Tension sur la sortie de Clignote Désacti- Erreur EE- Désactivez la jauge, attendez 5 signal constamment en rouge vée PROM secondes puis réactivez-la (re- < 0,3 V set).
  • Page 45 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
  • Page 46 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
  • Page 47 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
  • Page 48 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
  • Page 49 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange La chambre de mesure complète (jauge de remplacement) est préassemblée. Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. Fig.
  • Page 50 Câble de mesure Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum Connecteur-bouchon Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre...
  • Page 51 Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1,000 1,000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7.5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1,000 Torr | mm Hg 1,33...
  • Page 52 Tab. 24: Données électriques PKR Augmentez la tension minimum de l’unité d'alimentation en fonction de la longueur de câble. Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence. 52/62...
  • Page 53 , DN 40 ISO-KF environ 25,2 cm , DN 40 CF-F La tension minimum de l’unité d’alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur de câble. Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence. 53/62...
  • Page 54 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Poids <280 g, DN 25 ISO-KF <320 g, DN 40 ISO-KF <570 g, DN 40 CF-F Tab. 26: Volume interne et poids Paramètre Valeur Humidité relative de l’air 1 × 10 – 1 × 10 ≤...
  • Page 55 Caractéristiques techniques et dimensions 15.3 Dimensions DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Fig. 22: Dimensions Dimensions en mm. 55/62...
  • Page 56 ETL LISTED The products PKR 360, PKR 360 C, PKR 361 and PKR 361C - conform to the UL standard UL 61010-1. - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. 3103457...
  • Page 57 ETL LISTED The products IKR 360, IKR 360 C, IKR 361 and IKR 361C - conform to the UL standard UL 61010-1. - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. 3103457...
  • Page 58 Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Asslar, 2023-01-24 Directeur général...
  • Page 59 Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Asslar, 2023-02-22 Directeur général...
  • Page 60 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 61 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...