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7.4.12 Exploitation avec périphérique
7.4.13 Modes de remise à l'air
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande élec-
tronique d'entraînement.
Chauffage
Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vi-
tesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x f
Ventilateur
Deux options dans la configuration des raccords permettent le fonctionnement perma-
nent ou l'enclenchement et l'interruption à température contrôlée d'un refroidissement à
l'air raccordé (regardez à la p. 27, chap. 7.3) . Les valeurs seuils sont fixées de manière
propre à chaque type dans la commande électronique d'entraînement.
Vanne de la purge de gaz neutre
Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigu-
rée, à l'aide du paramètre [P:050].
Surveillance du gaz de balayage
Configuration d'une sortie accessoire libre et existante [P:035], [P:036, [P:037] ou
[P:038] sur option « 13 ».
Réglage du seuil d'avertissement [P:791] sur le débit de gaz de balayage souhaité.
Interrogation du débit de gaz de balayage via [P:337].
La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonc-
tion « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées
s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sé-
lectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée.
Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012].
Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030].
Remise à l'air retardée
Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être
configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
Paramètre [P:030] = 0
Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre
[P:720].
Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721].
En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise
à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise
à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée.
La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor
en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Aucune remise à l'air
Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation.
Paramètre [P:030] = 1
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
).
Nominal
35
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