Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 H Manuel De L'utilisateur page 61

14.4 Caractéristiques
Fig. 24:
13
10
12
10
10 11
10 10
10 9
10 8
7
10
6
10
10 5
10 4
10 3
10 2
1
10
0
10
10 -1
Taux de compression pour caractéristique de pression d'alimentation pour débit de
gaz = 0 | HiPace 300 H
Caractéristiques techniques et dimensions
Ar
H
2
He
N
2
10 0 10 1
foreline pressure [hPa ; mbar]
10 2
61/66