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Description du produit
3 Description du produit
3.1 Fonction
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les uni-
tés de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d'alimentation.
La désignation de propriété « H » identifie les pompes turbomoléculaires présentant d'excellents taux
de compression, notamment avec les gaz légers.
Cette pompe turbomoléculaire ne dispose pas de raccord de la purge de gaz neutre.
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Fig. 2:
1 Obturateur de protection de la connexion
2 Vis de ventilation
3 Borne de masse
4 Corps de pompe, acier inoxydable
5 Rotor turbo
6 Raccord de vide secondaire, DN 100 CF-
7 Raccord de vide primaire DN 16 ISO-KF
3.1.1 Refroidissement
● Refroidissement par convexion
● Refroidissement par air (option)
● Refroidissement par eau (option)
L'unité de commande électronique régule automatiquement l'arrêt de la commande en cas de tempéra-
ture excessive.
3.1.2 Paliers du rotor
pompe turbo à paliers hybrides
● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure
● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique
La lubrification permanente du palier du rotor côté vide préliminaire est assurée par un réservoir de flui-
de d'exploitation.
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Design HiPace 300 H
de vide secondaire
F
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3
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10
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Connexion multifonctions « X3 »
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Affichage du mode de travail à diodes électrolu-
minescentes
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Panneau du bloc d'eau de refroidissement
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Obturateur de protection du raccord de vide pri-
maire
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Partie inférieure de la pompe
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Unité de commande électronique TC 110
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Corps de pompe, aluminium
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