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Fig. 19:
1 Vis à tête hexagonale
2 Bouchon à vis
3 Joint torique
Démontage du réservoir de fluide d'exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Placez la pompe turbomoléculaire sur la bride de vide secondaire fermée.
3. Dévissez toutes les vis à tête hexagonale du culot fileté sur la base de la pompe.
4. Retirez le culot fileté.
5. Pour ne pas endommager le joint torique, retirez-le en utilisant un outil de montage pour joint tori-
6. Ne rayez pas la surface.
7. Retirez le réservoir de fluide d'exploitation du corps de palier à l'aide des pinces.
8. Tirez les anciennes tiges capillaires hors de la base de la pompe à l'aide des pinces.
9. Nettoyez le culot fileté avec un chiffon propre, non pelucheux.
7.3.2 Installation du réservoir de fluide d'exploitation
Produits consommables requis
● Gants de laboratoire
Outillage nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3
● Pinces
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
1
2
Démontage du réservoir de fluide d'exploitation
que.
– N'utilisez pas de détergent.
3
4
4
Réservoir du fluide d'exploitation
5
Tige capillaire (9x)
6
Buse d'injection
Maintenance
5
6
43/66
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