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Utilisation
6 Utilisation
6.1 Précautions préalables à l'utilisation
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n'a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un ris-
que d'accident grave voire mortel lorsque ces gaz s'échappent librement dans l'atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces infor-
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe pri-
► Vérifier régulièrement l'absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canali-
Risque de choc électrique en cas de déconnexion électrique pendant la rotation de la pompe
La pompe turbomoléculaire et son unité de commande électronique ne peuvent pas être débran-
chées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor : l'ensemble pompe et électro-
nique doivent être isolés du réseau électrique pour éviter tout choc électrique !
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre 'Stop' sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L'accès aux pièces 'coupantes' est possible par la bride d'aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d'aspiration, il atténue le risque de blessu-
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L'utilisateur et/ou l'inté-
grateur du produit doit respecter les consignes de sécurité (voir chapitre « Consigne pour les matériaux
pyrophoriques/inflammable »). Avant chaque mise en service :
1. Vérifier que la fixation de la pompe a bien été réalisée dans le respect des consignes de sécurité
2. Vérifier que l'aspiration de la pompe est bien raccordée à la ligne de pompage.
3. Mettre en service le circuit d'azote et le circuit d'eau.
4. Vérifier que les canalisations de refoulement ne sont pas bloquées et que toutes les vannes du
5. Vérifier que les vannes sont bien raccordées et alimentées, y compris la vanne de purge (si pré-
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AVERTISSEMENT
mations sont disponibles auprès du service sécurité de l'exploitant.
maire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccor-
dé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
sation d'échappement.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
res.
(voir chapitre « Conditions d'installation à l'équipement »).
système d'extraction sont ouvertes.
sente).
La pompe turbomoléculaire fonctionne avec une unité de commande électronique type
OBC. Se référer au manuel utilisateur de l'électronique associée.
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