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12 Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum :
► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5.
► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puis-
► Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage.
► Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau.
► Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau à 20 °C.
► Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe : 1 m.
► Caractéristiques mesurées sans filtre pare-éclats à l'aspiration de la pompe.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 3:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 4:
12.2 Caractéristiques techniques
Caractéristique
Bride de vide élevé
Bride de vide primaire
1)
1)
Bride de purge
Vitesse de pompage
Taux de compression
Flux maximum avec débit d'eau
120 l/h
2)
sance de pompes à vide - Description générale ».
mbar
1
1,000
0,01
1
10
1,33
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
3
10
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
N2
Ar
He
H2
N2
Ar
He
H2
N2
Ar
Caractéristiques techniques et dimensions
bar
Pa
100
1 · 10
-3
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
100
1 · 10
-3
0,01
1,000
-3
133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
Unité
ISO-KF
ISO-KF
l/s
l/s
l/s
l/s
sccm
sccm
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1,000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7.5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
2
Torr l/s
0,75
7,5
-2
1,27 · 10
1
0,76
ATP 1603 M
DN 200 ISO-F
DN 200 CF-F
DN 40
DN 16
1250
1180
1220
990
> 1 · 10
7
> 1 · 10
8
2 · 10
4
3
3,5 · 10
3000
600
-3
atm cm
3
/s
0,987
9,87
-2
1.67 · 10
1,32
1
49/56
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