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2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables
L'utilisateur et/ou l'intégrateur du produit a l'entière responsabilité de la sécurité de l'installation de la
pompe, de l'équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L'utilisateur et/ou l'intégrateur
est responsable de l'application qui utilise le produit.
Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L'utilisateur et/ou l'inté-
grateur du produit doit respecter les consignes de sécurité ci-dessous et conduire une analyse de ris-
que.
Danger de mort par explosion ou inflammabilité liée aux gaz pyrophoriques/inflammables
Les procédés du semi-conducteur, du photovoltaïque, des écrans plats et procédés industriels peu-
vent utiliser des gaz pyrophoriques ou inflammables. Mélangés à des produits oxydants, ces gaz
peuvent s'enflammer spontanément (gaz pyrophoriques) ou suite à un amorçage lors d'une réaction
chimique non désirée (gaz inflammables). Dans le pire des cas, cela provoque un incendie, ou une
explosion causant la projection de pièces métalliques et pouvant blesser gravement les personnes à
proximité.
► Mener une analyse de risques afin d'évaluer les risques avant d'installer la pompe.
► Installer des systèmes de sécurité conformes aux exigences de la norme EN 50495.
L'analyse de risques doit prendre en compte les gaz utilisés, les sous-produits du procédé ainsi que les
composants constituant l'ensemble de l'installation. Il faut absolument éviter les situations suivantes qui
présentent des risques :
● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable dans la plage d'inflammabilité.
● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable au-delà de la plage d'inflammabilité (la con-
● Le manque de dilution.
● L'accumulation de matières solides réactives au refoulement.
● L'exposition d'espèces réduites chimiquement ou d'agents réducteurs, à des oxydants.
Appliquer les recommandations générales de sécurité suivantes :
● Assurer l'étanchéité sur l'installation complète.
● Éviter le mélange de gaz oxydant (air, autre...) avec les gaz pyrophoriques/inflammables.
● Garantir que la concentration d'oxydant n'excède pas 60 % de la concentration maximum admis-
● Réaliser une purge d'azote avant toute maintenance sur la ligne de pompage (ligne d'aspiration,
● Nettoyer régulièrement la ligne de refoulement des sous-produits de réaction telles que les pous-
Pour davantage d'informations concernant la sécurité liée aux gaz pyrophoriques ou inflammables, con-
tacter notre centre de service.
Pour toutes ces applications, installer sur la pompe des étiquettes pour identifier les risques (inflamma-
bilité, explosion, toxicité, corrosion,.... etc.) et satisfaire aux exigences de SEMI S1. Ces informations
doivent être ajoutées dans le manuel de l'équipement pour l'utilisateur final.
1)
2)
DANGER
centration pourrait baisser en cas de fuite et atteindre la plage d'inflammabilité).
sible du gaz oxydant (MOC)
dre les 25 % de la LIE.
pompe et ligne de refoulement).
sières de silicium pour éviter le colmatage et/ou l'explosion.
Référence NFPA 69-2019, § 8.3.1 chap.8 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration de
produit inflammable.
Référence NFPA 69-2019, § 7.7.2.5 chap.7 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration en
oxydant.
2)
, principalement lorsque la dilution n'est pas suffisante pour attein-
Sécurité
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