Accessoires requis
● Une unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum connectée.
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l'unité d'en-
Réglage de la confirmation de la vitesse de rotation nominale
1. Suivre les instructions de fonctionnement de l'unité d'affichage et de commande.
2. Voir le manuel de l'utilisateur de l'unité d'entraînement électronique.
3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu.
4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777].
5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz.
7.5 Remplacement de la chemise chauffante
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonction-
nement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des pro-
cessus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximi-
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
Travail préparatoire
1. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit
2. Laissez le dispositif chauffant refroidir à température ambiante.
7.5.1 Démontage d'une chemise chauffante
4
Fig. 30:
1 Chemise chauffante
2 Sangle
traînement électronique.
AVERTISSEMENT
té.
2
3
Démontage de la chemise chauffante
(voir chapitre « Mise hors circuit », page
1
3
Connecteur
4
Boîtier TMS
Maintenance
49).
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