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Utilisation
Mise en circuit manuelle du TMS
1. Mettre en/hors circuit le TMS avec le paramètre [P:001].
2. Utiliser le paramètre [P:704] pour configurer le réglage de la température entre 30 °C et 75 °C.
6.4.2 Description du processus pour le TMS
La gestion de la température fonctionne automatiquement selon les réglages de l'unité d'entraînement
électronique.
► Observez les informations de paramétrage dans le manuel de l'utilisateur pour l'unité d'entraîne-
► Comparez les affichages sur l'unité de commande
● Après activation, la pompe turbomoléculaire démarre avec l'entrée de puissance maximum.
● Après avoir atteint le point de commutation 1 de la vitesse de rotation, l'unité d'entraînement élec-
● Le capteur dans le boîtier de la pompe turbo surveille la température du dispositif de chauffage.
● Dès que le paramètre [P:333] commute sur la valeur « 1 », la température de consigne a été at-
● L'unité d'entraînement électronique met en/hors circuit le TMS pour maintenir la température de
6.5 Surveillance des opérations
6.5.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
Les LED sur l'unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d'avertissement ne sont possibles que pour le
fonctionnement avec l'affichage et l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 16:
6.5.2 Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d'amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
48/78
ment électronique correspondante.
tronique met en circuit le dispositif de chauffage TMS et ouvre la vanne de gaz de pressurisation.
─ Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:701]
─ Dispositif de chauffage [P:001]
─ Gaz de pressurisation [P:050]
─ Température réelle [P:331]
─ État température [P:333]
─ Réglage de température [P:704]
teinte.
─ Le TMS a atteint un état stable
consigne.
Symbole
État LED
Désactivé
Activé, clignotant
Activé, clignotement inver-
se
Activé, éclairé en continu
Activé, clignotant
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Comportement et signification des LED de l'unité de commande électronique
Affichage
Signification
Sans courant
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite non attein-
te
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite atteinte
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de > 60 tr/min
Pas d'avertissement
Avertissement
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Erreur, dysfonctionnement
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