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3.6.2
Mesure de l'épaisseur de couche confocale chromatique
8027553//2022-05-25 | SICK
Sujet à modification sans préavis
Explication du principe de mesure
Illustration 4 : Principe de mesure de l'épaisseur de couche confocale chromatique
Source de lumière
1
Fibre optique
2
Coupleur de fibres
3
Tête de mesure
4
Matériau transparent
5
Analyse par spectromètre
6
La source de lumière émet une lumière. La lumière émise est guidée à travers la fibre
optique et un coupleur de fibres vers la tête de mesure. La tête de mesure focalise la
lumière sur la surface de l'objet mesuré avec un large domaine spectral. La lumière
réfléchie par l'objet mesuré est reçue sur une voie inverse à travers la tête de mesure,
puis analysée par le spectromètre. Lorsqu'un matériau transparent se trouve dans
la plage de mesure, deux pics apparaissent dans le spectre de la lumière réfléchie.
Chaque pic est dû à la réflexion spéculaire sur une des surfaces limites de la couche.
L'épaisseur de la couche peut être définie à partir de la distance spectrale et de
l'indice de réfraction du matériau superposé.
Il est possible de mesurer l'épaisseur des couches isolées et de mesurer simultané‐
ment différentes couches au sein d'un système de couches.
Conditions préalables à la mesure
•
La couche mesurée est transparente dans la plage de longueur d'onde utilisée.
•
Pour différencier les deux pics dans le spectre, une épaisseur de couche minimale
est nécessaire. L'épaisseur minimale de la couche dépend de la tête de mesure
utilisée.
•
Couche isolée : les deux surfaces limites ont un indice de réfraction différent.
•
Système de couches : les couches mesurées ont un indice de réfraction différent.
DESCRIPTION DU PRODUIT
N O T I C E D ' I N S T R U C T I O N S | OD7000
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