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Utilisation
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17200469_003_C0 - 09/2016 - © Leybold
Pression limite du groupe de pompage
Si les spécifications techniques de pression terminale ne peuvent être
atteintes, mesurer la pression terminale directement sur la tubulure
d'aspiration du poste de pompage. Pour ce faire, séparer le poste de pom-
page de la chambre à vide. Utiliser les appareils de mesure appropriés et
calibrés (ex. : tube de mesure CTR).
Lors de la première mise en service, après des pauses prolongées ou une
vidange, le système de pompes n'atteint la pression terminale qu'au bout
d'un certain temps. Le système de pompes doit être à la température de
fonctionnement et l'huile des pompes doit avoir dégazé.
Une alimentation en azote manquante ou trop faible peut endommager le
CONSIGNE
poste de pompage.
Encrassement par mélange
Un système de vide est souvent utilisé pour des applications diverses, pour
lesquelles différents gaz de processus sont employés. Cela peut provenir du
fait que différents produits sont fabriqués sur l'installation ou que le proces-
sus de fabrication se fait en plusieurs étapes.
Dans ces cas, on peut avoir un encrassement « croisé » par mélange entre
les gaz de processus / vapeurs / matériaux d'un processus et ceux de l'autre
processus. Dans certains cas, cela peut provoquer des réactions dange-
reuses entre deux matériaux qui, pris individuellement, ne présentent aucun
danger.
Dans les cas susceptibles de générer des réactions à risque, on effectue
généralement une purge d'env. 15 minutes par balayage de gaz inerte, entre
chaque étape de processus. Cela permet d'éliminer le premier agent, avant
que le second ne soit pompé. Le risque, dans un système de vide, est que
certains gaz de processus restant enfermés, n'aient pu être éliminés pendant
l'étape de balayage. Il faut en tenir compte lors de la construction du sys-
tème de vide.
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