Fonctionnement Du Capteur D'un Mfm Ou D'un Mfc; Fonctionnement Détaillé D'un Mfc - Burkert 8700 Manuel D'utilisation

5.3 Fonctionnement du capteur d'un
MFM ou d'un MFC
Les capteurs de débit intégrés fonctionnent selon le procédé de
mesure thermique (anémométrique ou calorimétrique) pour mesurer
le débit massique. Les principaux composants sont une résistance
chauffante et une sonde de température. Le gaz qui passe par l'ap-
pareil modifie la différence de température mesurée entre les deux
résistances.
Le principe de mesure thermique permet au MFC de réguler le débit
massique exigé de façon totalement indépendante des variations de
pression et de température dans l'application concernée.
P our obtenir un signal de sortie de la valeur effective,
dynamique ou uniforme, il est possible de modifier l'amor-
tissement du signal de sortie à l'aide du logiciel "Mass Flow
Communicator" (voir chap. 10.1.3).
Sur les MFC types 8710, 8711, 8713, 8715, la techno-
logie du capteur intégré nécessite, en présence de fluides
encrassés, la mise en place de filtres en amont de l'appareil.
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Type 8700, 8701, 8703, 8705
Description de l'appareil
5.4 Fonctionnement détaillé d'un MFC
w
x = w-x
d
Électronique de
x
Entrée
régulation
fluide
Capteur
Fig. 2: Principe de fonctionnement du Mass Flow Controller
L'électronique de régulation compare le débit massique (x) mesuré
par le capteur de débit intégré à la valeur de consigne (w) du débit
massique transmise au MFC. L'électronique de régulation calcule alors
la grandeur de réglage (y) à transmettre à l'électrovanne pour contrôler
son ouverture. Le débit est soit maintenu à une valeur constante, soit
modifié selon un profil prédéfini.
Le fonctionnement de la régulation est indépendant des variations de
pression ou d'augmentation de la résistance d'écoulement pouvant
provenir de l'encrassement du filtre. La vitesse de réaction élevée de
l'électrovanne et le temps de réponse court du capteur permettent
d'obtenir un temps de régulation total court.
La valeur mesurée du débit massique est également transmise (xout) via
une sortie analogique normalisée ou une sortie numérique (bus de terrain).
français
x
out
y
Sortie
fluide
Élément de régulation
(électrovanne)