Table des Matières
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Raccords des gaz et des échappements :
Connexion à la
pompe
turbomoléculaire
5.
Installez un détendeur d'azote, non fourni, sur l'alimentation en azote.
6.
Placez le goujon de 6 mm dans la sortie du régulateur.
7.
Raccordez l'extrémité libre du long tuyau de PTFE de 6 mm au goujon de
6 mm.
B-14
Branchements externes
Évent de la source
Vide de la source
Entrée de gaz de
la cellule de
collision (argon)
Entrée de l'azote
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