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Le système de pompage EPX fonctionne à des pressions comprises entre la pression atmosphérique et le vide limite,
sans liquide lubrifiant ni liquide d'étanchéité dans l'enceinte de pompage. On obtient ainsi un système de pompage
propre, sans retour d'huile ou de liquide dans le système pompé.
Entre 1 bar et 0,2 mbar, la pompe EPX Twin offre un avantage considérable de performance de pompage par rapport
à la pompe EPX standard. De ce fait, la pompe EPX Twin est idéale pour un usage avec des applications de type sas,
applications à cycle rapide etc.
Le stator de la pompe et le moteur caréné sont refroidis par un circuit de refroidissement à eau intégré. La pompe
EPX convient donc à des applications en salle blanche pour lesquelles le refroidissement par ventilateur n'est pas
acceptable. Les conduites d'alimentation et de retour d'eau de refroidissement sont raccordées à la pompe par des
raccords d'eau, selon spécification client (voir
doit être adaptée au milieu ambiant (humidité et température) afin que le système reste en deçà du point de rosée.
Consultez le
Tableau 9
pour connaître les caractéristiques requises de l'alimentation en eau.
Voir
Figures 2
et 4. La pompe incorpore un filtre d'arrivée CEM et un onduleur, qui fournit et régule l'alimentation
électrique de la motopompe. Des voyants sur le capot en face avant indiquent l'état de la pompe EPX (voir
repères 2, 3, 4 et 5, et
Tableau
la pompe démarre avec une pression d'admission égale à ou proche de la pression atmosphérique, le moteur accélère
jusqu'à une vitesse limitée par le courant qui peut être fourni par l'onduleur. Au fur et à mesure de la réduction de
la pression à l'admission, la vitesse du moteur augmente jusqu'à la valeur maximale prédéfinie. Si la pression à
l'admission augmente, le moteur ralentit.
La pompe EPX prend appui sur quatre supports anti-vibratoires
Les capteurs de protection arrêtent automatiquement la pompe en cas de défaillance (voir
La pompe EPX est disponible en plusieurs variantes. La nomenclature est conçue de manière à faciliter
l'identification des variantes adaptées aux différentes applications, ainsi que pour choisir au mieux les modalités de
commande. Les quatre variantes de base sont décrites plus en détail ci-après.
1.2.1
La variante EPX L
Cette pompe est utilisée dans des applications en atmosphère dépoussiérée pour le pompage de mélanges gazeux
inertes (en sas, par exemple), dans lesquelles la commande est assurée par l'interface de l'outil process. (Voir
Figure
2.)
1.2.2
La variante EPX LE
Cette pompe est utilisée dans des applications en atmosphère dépoussiérée (en sas, par exemple) et comporte en
plus un tableau de commande opérateur (EUC). Le tableau de commande opérateur permet une utilisation autonome
de la pompe avec commande locale ; il permet également de se raccorder à un réseau d'entreprise pour le
télécontrôle et la télésurveillance. Un terminal d'affichage de pompe (PDT) peut aussi être utilisé avec le tableau
de commande opérateur pour faciliter la commande locale. (Voir
1.2.3
La variante EPX N
Cette pompe est équipée d'un module de gaz qui assure une purge à l'azote du joint d'arbre et du mécanisme de
pompage pour diluer les gaz de process. Cette variante est destinée aux applications légères indiquées à la
(Pour de plus amples informations, voir
1.2.4
La variante EPX NE
Ce système, destiné à des applications process légères, offre une fonction réseau et une commande locale via l'EUC
comme expliqué à la
Section
Les quatre variantes de base (L, LE, N et NE) sont disponibles en deux capacités, 180 m
variante, précédées de 180, par exemple EPX180LE) et 500 m
par exemple EPX500N).
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Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
Figure
2, repères 4 et 9). L'alimentation en eau de refroidissement
1). La vitesse du moteur dépend de la pression à l'admission de la pompe. Lorsque
Figure
5, le
Tableau 5
1.2.2. (Voir
Figure
5.)
(Figure
2, repère 7).
Figure
5.)
et la
Section
3.6.)
3
/h (lettres désignant la variante, précédées de 500,
A419-00-883 Issue H
Figure
Section
1.3).
Figure
3
/h (lettres désignant la
Page 3
4,
1.
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