Prenez note des points suivants lorsque vous raccordez les conduites d'arrivée et de retour de l'eau de
refroidissement :
Pendant l'installation, acheminez et immobilisez avec soin les câbles, les flexibles et la tuyauterie pour
éviter tout risque de trébuchement.
Essuyez toute trace d'eau renversée pendant l'installation pour éviter tout risque de glissement.
Chaque pompe EPX doit être raccordée à un circuit d'eau indépendant et qui n'est pas en série avec celui
d'un autre équipement.
L'alimentation en eau de refroidissement doit disposer d'une fonction de verrouillage en conformité avec la
norme SEMI S2-0200 clause 17.4.
Nous vous recommandons d'incorporer un indicateur de débit à bille adapté dans votre conduite de retour de
l'eau, qui donnera ainsi une indication visuelle de l'écoulement de l'eau de refroidissement dans la pompe
EPX.
Si l'eau contient des particules solides, nous vous recommandons d'incorporer un filtre adapté dans la
conduite d'arrivée d'eau. (Pour les caractéristiques de l'alimentation en eau de refroidissement, voir
Section
2.4.)
Pour économiser les ressources en eau, nous vous recommandons d'assurer le refroidissement puis le recyclage de
l'eau sortant de la pompe.
3.9
Raccordement à votre système d'arrêt d'urgence
Voir
Figure
18. Vous devez raccorder la pompe à un dispositif d'arrêt d'urgence, qui doit être à proximité de la
pompe. L'activation de la fonction d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension dès que la commande d'arrêt
d'urgence est enclenchée. Le fait de ramener la commande d'arrêt d'urgence à sa position normale ne doit pas
entraîner la remise sous tension de la pompe ; pour cela, il convient d'employer une commande séparée de
démarrage ou de réinitialisation.
La commande d'arrêt d'urgence doit être conforme à la clause 12 de la norme SEMI S2-0200.
Figure 18 - Schéma fonctionnel de la fonction d'arrêt d'urgence
ALIMENTATION
ARRET
D'URGENCE
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REINITIALISATION/DEMARRAGE
Dispositif d'arrêt
d'urgence
A419-00-883 Issue H
ALIMENTATION VERS
LE MOTEUR DE LA
POMPE
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