Maintenance
Fig. 63:
1 Vis à six pans creux, 4×
2 Boîtier supérieur
Installation du boîtier supérieur – modèle de bureau
1. Vissez les 4 vis dans le boîtier supérieur.
2. Vissez les 2 vis dans le boîtier de partie inférieure.
8.5.4 Installation de la pompe turbomoléculaire dans le modèle autonome
Condition préalable
● Pompe primaire installée dans le groupe de pompage
Outils requis
● Clé dynamométrique six pans creux, WAF 4 (pour HiPace 80 Neo)
● Clé dynamométrique six pans creux, WAF 6 (pour
Fig. 64:
1 Pompe turbomoléculaire
66/88
1
4
Installation du boîtier supérieur – modèle de bureau
– Couple de serrage : 1,4 Nm
– Couple de serrage : 3 Nm
HiPace 300/300 H/350/400/450/700/700 H/800/800 H)
2
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
2
3
3
Vis à six pans creux, 2×
4
Boîtier de partie inférieure
1
2
Vis de fixation avec disque de freinage