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Utilisation
6.4.3 Description du processus pour le TMS
La gestion de la température fonctionne automatiquement selon les réglages de l'unité d'entraînement
électronique.
► Observez les informations de paramétrage dans le manuel de l'utilisateur pour l'unité d'entraîne-
► Comparez les affichages sur l'appareil de commande.
● Après activation, la pompe turbomoléculaire démarre avec l'entrée de puissance maximum.
● Après avoir atteint le point de commutation 1 de la vitesse de rotation, l'unité d'entraînement élec-
● Le capteur dans le boîtier de la pompe turbomoléculaire surveille la température du chauffage.
● Dès que le paramètre [P:333] commute sur la valeur « 1 », la température de consigne a été at-
● Pour maintenir la température nominale, l'unité de commande électronique continue d'allumer et
6.5 Surveillance des opérations
6.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l'unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d'alerte ne sont possibles que pour le fonctionne-
ment avec l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 15:
6.5.2 Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d'amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
pour les messages d'avertissement et d'erreur sont mémorisés systématiquement dans l'unité de com-
mande électronique. À titre d'information, différentes demandes d'état sont définies dans l'ensemble de
paramètres.
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ment électronique correspondante.
tronique met en circuit le chauffage TMS et ouvre la vanne de gaz de pressurisation.
─ Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:701]
─ Chauffage [P:001]
─ Gaz de pressurisation [P:050]
─ Température réelle [P:331]
─ État température [P:333]
─ Réglage de température [P:704]
teinte.
─ Le TMS a atteint un état stable
d'éteindre le TMS.
Symbole
État LED
Désactivé
Activé, clignotant
Activé, clignotement inver-
se
Activé, éclairé en continu
Activé, clignotant
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Comportement et signification des LED de l'unité de commande électronique
Affichage
Signification
Sans courant
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite non attein-
te
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite atteinte
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de > 60 tr/min
Pas d'avertissement
Avertissement
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Erreur, dysfonctionnement
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