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Paramètre
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Tab. 13:
Mise en marche de la pompe turbomoléculaire
1. Respectez le débit et la circulation de l'eau de refroidissement.
2. Lorsqu'un gaz de pressurisation est utilisé, respecter la valeur de flux de débit du gaz de pressuri-
3. Respecter la réduction de la puissance d'entraînement, en fonction de la tension d'alimentation
4. Alimentez le produit en électricité.
6.2 Modes de fonctionnement
Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbomoléculaire.
● Fonctionnement sans appareil de commande
● Fonctionnement via la connexion « E74 »
● Fonctionnement via la connexion « à distance »
● Fonctionnement via l'interface RS-485 de l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
Instructions de fonctionnement sans panneau de commande
1. Utilisez uniquement la fiche d'accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la
2. L'alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la
Après application de la tension de fonctionnement, l'unité de commande électronique effectue un test
automatique pour contrôler la tension d'alimentation. Si le test s'est terminé avec succès, la pompe tur-
bomoléculaire démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration.
6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 »
Le fonctionnement est possible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « E74 » sur
l'unité d'entraînement électronique. En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la
connexion est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique.
Instructions d'utilisation avec E74
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74.
6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 26 broches avec la désignation « à
distance » sur l'unité d'entraînement électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées
avec les « niveaux PLC ».
Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique pour la version standard.
Nom
Désignation
VentSpd
Mise à l'air à la vitesse de rotation, mise à l'air re-
tardée
VentTime
Temps de remise à l'air, ventilation temporisée
Paramètres préconfigurés sur les pompes turbomoléculaires préparées pour TMS à
la livraison
sation.
fournie par le secteur.
Démarrage automatique
La pompe turbo est prête à fonctionner lorsque la fiche d'accouplement fournie à la livrai-
son est utilisée sur l'unité d'entraînement électronique ou lorsque les contacts de pontage
sont mis en œuvre conformément à l'agencement du terminal. Dès que la tension d'alimen-
tation est fournie, la pompe turbo va démarrer automatiquement.
connexion de l'unité de commande électronique.
mise en route.
Utilisation
Réglage
50 %
3 600 s
45/78
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