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Table des matières
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5.5.2 Établissement d'un raccordement d'eau de refroidissement avec
des pièces d'assemblage
5.6
Connexion des accessoires aux pompe turbo avec un TMS
5.7
Raccordement de l'alimentation électrique
5.7.1 Mise à la terre de la pompe à vide
5.7.2 Raccordement électrique
5.7.3 Prenez des mesures de prévention électriques
Utilisation
6.1
Mise en service
6.2
Modes de fonctionnement
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 »
6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
6.2.4 Fonctionnement via l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum
6.3
Mise en marche de la pompe turbo
6.4
Fonctionnement avec TMS après conversion
6.4.1 Instructions de réglage
6.4.2 Connexion TMS
6.4.3 Description du processus pour le TMS
6.5
Surveillance des opérations
6.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
6.5.2 Surveillance de la température
6.6
Mise hors circuit et mise à l'air
6.6.1 Mise hors circuit
6.6.2 Mise à l'air
Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3
Remplacement du fluide d'exploitation
7.3.1 Vidange du fluide d'exploitation
7.3.2 Remplissage avec du fluide d'exploitation
7.4
Remplacement de l'unité d'entraînement électronique
7.4.1 Démontage de l'unité de commande électronique
7.4.2 Installation de l'unité de commande électronique
7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse
7.5
Remontage des robinetteries des tubulures
7.5.1 Démontage des pièces d'assemblage des tubulures
7.5.2 Montage des pièces d'assemblage des tubulures
Mise hors service
8.1
Mise à l'arrêt prolongé
8.2
Remise en service
Recyclage et mise au rebut
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
9.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
Dysfonctionnements
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Pièces de rechange
Accessoires
13.1 Informations sur l'accessoire
13.2 Commande d'accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
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