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3 Description du produit
3.1 Fonction
La pompe turbo forme une unité compacte avec l'unité d'entraînement électronique et le bloc d'alimen-
tation électrique intégré.
La pompe turbomoléculaire est préparée pour un montage a posteriori avec un système de gestion de
la température (TMS). Le TMS prévient la condensation des résidus de processus par l'intermédiaire du
chauffage contrôlé du corps de pompe. Le système de refroidissement assure une dissipation sûre et
suffisante de la chaleur sans perte d'énergie pendant le processus de chauffage.
Fig. 2:
1 Raccord de vide élevé
2 Anneaux à vis
3 Obturateur de protection du raccord de vide pri-
4 Obturateur de protection de la connexion de vi-
5 Pompe du fluide d'exploitation
6 Raccord de ventilation (filetage 1/8")
7 Raccordement d'eau de refroidissement, arrivée
3.1.1 Refroidissement
● Refroidissement à eau
L'unité d'entraînement électronique régule automatiquement l'arrêt de l'entraînement en cas de tempé-
rature excessive.
3.1.2 Paliers du rotor
pompe turbo à paliers hybrides
● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure
● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique
Les pompes turbomoléculaires HiPace à paliers hybrides utilisent des roulements à billes en céramique
pour le palier du rotor côté vide préliminaire. La pompe à fluide d'exploitation assure une lubrification
définie et le fonctionnement continu des roulements à billes.
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Réalisation HiPace 2300 IU
maire
de secondaire
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Description du produit
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Raccordement d'eau de refroidissement,
sortie
Raccord de vide primaire DN 40 ISO-KF
Raccord de la purge de gaz neutre
Alimentation électrique, unité d'entraîne-
ment électronique
Borne de masse
Unité de commande électronique TC 1200
Sonde de température
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