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Agilent Technologies TV 301 MS Mode D'emploi page 31

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Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten
werden:
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe
entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
Modell TV 401/301 MS ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe
Schema in "Technical Information").
Modell TV 401/301 MS kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Die TV 401/301 MS in einer stabilen Position befestigen,
wobei der Flansch der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch
angeschlossen werden soll. Die Verbindung von Pumpenflansch und
Gegenflansch soll einen Widerstand bis zu einem Drehmoment von
2000 Nm um die eigene Achse aufweisen. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der Schrauben und das Anzugsmoment.
Tab. 1
Befestigung an der Kammer
Schrauben mit Gewinde M6 und Klasse >= 10,9
WARNUNG!
Die Vakuumkammer, in der die Pumpe enthalten ist, soll aus
Sicherheitsgründen entsprechend dickwandig ausgeführt sein. Bei Kammern
aus gehärtetem Anticorodal (σ
angemessen.
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01
Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang
"Technical Information")
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend).
ANZ.
6
=275 Mpa) ist eine Wandstärke von 5 mm
y
(A)
Gebrauchsanleitung
Installation
ANZUGSMOMENT
10 Nm
31/264
2

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Ce manuel est également adapté pour:

Tv 401 ms869-8928r004969-8979m005