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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 PLUS
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 PLUS
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 700 PLUS Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement...
- Page 4 6.2.2 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance » 6.2.3 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Surveillance des opérations...
- Page 5 Tab. 18: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 19: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 20: Fiche technique pour HiPace 700 Plus Tab. 21: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 5/66...
- Page 6 Installation de l’unité de commande électronique TC 400 Fig. 23: Pièces de rechange HiPace 700 Plus Fig. 24: HiPace 700 Plus | TC 400 | DN 160 ISO-K Fig. 25: HiPace 700 Plus | TC 400 | DN 160 CF-F Fig. 26:...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve D-35614 Asslar Berliner Str. 43 dans la partie inférieure de la pompe à vide. HiPace 700 Plus Mod. PM PXX XXX Plaque signalétique de l’unité de commande électronique Type 12...
- Page 9 A propos de ce manuel Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Remarque concernant le manuel de l’utili- Informations sur la mise à la terre sateur 2 Sceau de garantie Plaque signalétique sur la pompe turbomoléculaire 1.3.4 Abréviations Abréviation Signification dans ce document Bride : raccord à...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoi-...
- Page 13 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à...
- Page 14 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per-...
- Page 15 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ►...
- Page 16 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 17 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 18 La désignation de propriétés « Plus » caractérise les pompes turbomoléculaires avec un niveau de vi- bration particulièrement faible et un faible champ magnétique de fuite. Fig. 2: Construction HiPace 700 Plus 1 Unité de commande électronique TC 400 Vis de ventilation 2 Borne de masse Raccord pour l’eau de refroidissement...
- Page 19 ─ Tension de service 48 V CC 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 20 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
- Page 21 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 22 Installation 5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure AVIS Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d’une force agissant sur le côté vide élevé En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d’un raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomolé- culaire.
- Page 23 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 24 5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide.
- Page 25 Installation 5.3.5 Orientations de montage Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes à vide primaire pour un montage dans toutes les positions. ► Lors de l'utilisation de pompes de secours à bain d'huile, éviter le reflux de la plage de vide préli- minaire.
- Page 26 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbomolécu- laire.
- Page 27 Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou traversant Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbomolécu- laire.
- Page 28 Raccord de bride ISO-F, goujons et trous taraudés Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Visser les goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride.
- Page 29 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 30 Installation 4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 5. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple.
- Page 31 Installation Raccordement du vide préliminaire 1. Avec des raccordements de tuyauterie rigides, incluez des soufflets pour amortir les vibrations ex- ternes. 2. Installez un raccordement de vide préliminaire avec des composants à bride, p. ex. éléments de raccordement et composants de tube DN 25 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Va- cuum.
- Page 32 5.6 Raccordement des accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomo- léculaires hybrides...
- Page 33 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.7.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. 33/66...
- Page 34 Installation Fig. 17: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Procédure 1. Utiliser la prise de terre de la pompe turbomoléculaire (filet femelle M4). 2. Acheminer le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 5.7.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort.
- Page 35 2. Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder au raccordement. 3. Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum. 4. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCin » sur l’unité de commande électronique et fermer la fermeture à...
- Page 36 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 37 Instructions de fonctionnement sans panneau de commande 1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion de l’unité de commande électronique. 2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 38 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de ter- rain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 39 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 40 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 41 Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à...
- Page 42 4. Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le réservoir du fluide d'exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans.
- Page 43 1, Remplacement du réservoir du fluide d’exploitation. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire arrêtée ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ●...
- Page 44 Maintenance Fig. 19: Retrait du réservoir du fluide d’exploitation 1 Joint torique Réservoir du fluide d’exploitation 2 Couvercle d’obturation Buse d’injection 3 Vis à six pans creux intérieurs Obturateur de protection Retrait du réservoir du fluide d’exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 45 Maintenance Fig. 20: Assemblage du réservoir du fluide d’exploitation 1 Réservoir du fluide d’exploitation Couvercle d’obturation 2 Buse d’injection Vis à six pans creux intérieurs 3 Joint torique Obturateur de protection Installation du réservoir de fluide d’exploitation avec tiges capillaires ●...
- Page 46 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail.
- Page 47 400 | 700 | 800 820 Hz Tab. 14: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Accessoires requis ● Appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l’unité de commande électronique. 47/66...
- Page 48 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777].
- Page 49 2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo. 4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeif- fer Vacuum Service de remplacer le palier.
- Page 50 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 51 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponi- bles ici.
- Page 52 ● Activez l’unité de courant. ● Unité de commande ● Remplacez l’unité de commande électronique. électronique défectueu- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe turbomoléculaire ne ● Fonctionnement sans ● Raccordez les connexions conformément au démarre pas ; la DEL verte sur appareil de comman- schéma de raccordement de l’unité...
- Page 53 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de protecteur desserré...
- Page 54 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 55 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 56 Pièces de rechange HiPace 700 Plus 12 Pièces de rechange HiPace 700 Plus Fig. 23: Pièces de rechange HiPace 700 Plus Posi- Désignation Référence de comman- Remarque Piè- tion Unité de commande élec- se référer à la plaque si- en fonction du panneau tronique TC 400 gnalétique...
- Page 57 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 58 Accessoires Champ de sélection Numéro de commande Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-F, anneau de centrage re- PM 016 461 -T couvert, filtre pare-éclats, vis à tête hexagonale Kit de montage pour DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, PM 016 462 -T grille de protection et vis à...
- Page 59 Accessoires Champ de sélection Numéro de commande Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccordement à PM Z01 291 TC 400/1200 et TM 700 Refroidissement par air pour HiPace 400/700 et 800 avec TC 400 PM Z01 303 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et PM Z01 312...
- Page 60 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 61 Caractéristiques techniques et dimensions Désignation du type HiPace® 700 Plus HiPace® 700 Plus HiPace® 700 Plus Palier Hybride Hybride Hybride Pression limite < 1 · 10 < 5 · 10 < 1 · 10 Taux de compression pour Ar > 1 · 10 >...
- Page 62 Tab. 21: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 14.4 Dimensions Dimensions en mm Ø8 DN 160 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4” M8 (6x) 145.5 Fig. 24: HiPace 700 Plus | TC 400 | DN 160 ISO-K 62/66...
- Page 63 Ø 8 DN 160 CF-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Fig. 25: HiPace 700 Plus | TC 400 | DN 160 CF-F Ø 8 DN 160 ISO-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Fig.
- Page 64 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 700 Plus Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 65 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 66 Notizen / Notes:...