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Table des matières
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A propos de ce manuel
1.1
Validité
1.1.1 Documents associés
1.1.2 Variantes
1.2
Groupe cible
1.3
Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4
Justificatif de marque de commerce
Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
2.2
Consignes de sécurité
2.3
Mesures de sécurité
2.4
Limites d'utilisation du produit
2.5
Utilisation conforme
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
2.7
Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Description du produit
3.1
Fonction
3.1.1 Refroidissement
3.1.2 Paliers du rotor
3.1.3 Entraînement
3.2
Identification du produit
3.2.1 Types de produit
3.2.2 Caractéristiques du produit
3.3
Limite de fourniture
Transport et stockage
4.1
Transport
4.2
Stockage
Installation
5.1
Travail préparatoire
5.2
Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure
5.3
Raccordement côté vide élevé
5.3.1 Conception de la contre-bride
5.3.2 À propos de la protection antisismique
5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
5.3.4 Utilisation du compensateur de vibrations
5.3.5 Orientations de montage
5.3.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.3.7 Fixation de la bride ISO-K à l'ISO-F
5.3.8 Raccordement de la bride ISO-F à l'ISO-F
5.3.9 Fixation d'une bride CF sur CF-F
5.4
Raccordement côté vide préliminaire
5.5
Connexion d'eau de refroidissement
5.6
Raccordement des accessoires
5.7
Raccordement de l'alimentation électrique
5.7.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire
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