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Maintenance
1
Fig. 19:
1 Joint torique
2 Couvercle d'obturation
3 Vis à six pans creux intérieurs
Retrait du réservoir du fluide d'exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Placez la pompe turbomoléculaire sur la bride de vide secondaire fermée.
3. Dévissez toutes les vis à tête hexagonale du culot fileté sur la partie inférieure de la pompe.
4. Retirez le couvercle d'obturation.
5. Pour ne pas endommager le joint torique, retirez-le en utilisant un outil de montage pour joint tori-
6. Ne rayez pas la surface.
7. Retirez le réservoir de fluide d'exploitation du corps de palier à l'aide des pinces.
8. Nettoyez le couvercle d'obturation avec un chiffon propre, non pelucheux.
7.3.2 Assemblage du réservoir du fluide d'exploitation
Consommables requis
● Gants de laboratoire
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 5
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
44/66
2
3
Retrait du réservoir du fluide d'exploitation
que.
– N'utilisez pas de détergent.
4
4
Réservoir du fluide d'exploitation
5
Buse d'injection
6
Obturateur de protection
5
6
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