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Installation
Fig. 3:
1
5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide
élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide.
La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire est réduite en fonction des valeurs de référence
de passage et de la grandeur de la bride de vide élevé.
Taille de bride
Bouclier pare-éclats DN 160
Écran protecteur DN 160
Tab. 7:
► Pour les brides ISO, utiliser des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pare-éclats.
5.3.4 Utilisation du compensateur de vibrations
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dom-
mages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Les compensateurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux systèmes sensibles aux vibrations.
Installation du compensateur de vibrations
1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé.
2. Tenir compte de la résistance à l'écoulement.
3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire.
4. Respecter la fixation des brides ISO.
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VACUUM SYSTEM
Exemple : Raccordements de sûreté
Raccordements de sûreté, côté client
Réduction de la vitesse de pompage lors de l'utilisation d'un bouclier pare-éclats ou
d'un écran protecteur
AVERTISSEMENT
Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz
H
He
2
6
9
1
2
1
N
Ar
2
20
23
6
7
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