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Procédure
1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire.
2. Dévisser les 3 vis à tête hexagonale de l'unité d'entraînement électronique.
3. Tirez sur l'ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant
7.4.2 Installation de l'unité d'entraînement électronique
Outillage nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
1
Fig. 22:
1 Vis à tête hexagonale
2 Unité de commande électronique
3 Plaque d'adaptation
Procédure
1. Installez une nouvelle unité de commande électronique bien droite sur le raccord de la plaque
2. Visser l'unité d'entraînement électronique sur la pompe turbo avec les 3 vis à tête hexagonale.
7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d'une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l'unité de commande électronique. Si l'unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d'un système de sécurité redon-
dant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
La confirmation redondante de la vitesse de rotation nominale d'une pompe turbomoléculaire est pos-
sible en réglant le paramètre [P:777] NomSpdConf dans l'unité de commande électronique.
HiPace
10 | 30 | 60 | 80
300
350 | 450
400 | 700 | 800
Tab. 14:
Accessoires requis
● Appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l'unité de
soin de la maintenir droite.
3
2
Installation de l'unité de commande électronique TC 400
d'adaptation de la pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 2,5 Nm
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
commande électronique.
4
Cache de protection du raccord de vide
5
Cache de protection du raccord de vide préliminaire
Vitesse de rotation nominale
1500 Hz
1000 Hz
1100 Hz
820 Hz
Maintenance
4
5
47/66
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