Pfeiffer Vacuum ATH 2800 M Manuel De L'utilisateur page 30

Installation
70
60
50
40
30
20
1000
Fig. 8:
1 Réducteur de flux 50 sccm
Dispositif de purge 50 sccm
Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux garantit un débit de 50 sccm pour
une pression de 1,1 · 10
sique, ne pas utiliser le réducteur de flux.
1. Raccorder directement l'alimentation de gaz neutre sur l'orifice PURGE équipé du réducteur de
2. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de pur-
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm
1
1 Filtre à poussières
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm
Il s'agit d'une option disponible selon la configuration de la pompe.
L'électrovanne installée sur la pompe est alimentée et pilotée par une unité de commande électronique
(fournie par le client).
► Connecter l'électrovanne sur l'orifice PURGE (fixation par 4 vis fournies).
Electrovanne de purge raccordée à une alimentation de gaz neutre
Cette électrovanne peut être raccordée à une alimentation de gaz neutre. Le flux de purge doit être pré-
sent lorsque la pompe est en fonctionnement.
Lorsque la pompe est à l'arrêt, l'électrovanne peut être fermée pour faire un test d'étanchéité de l'équi-
pement.
1. Retirer le filtre à poussières de l'électrovanne.
2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre.
30/58
Débit (SCCM)
Pression absolue à l'aspiration (hPa)
1100 1200 1300 1400
Graphe Débit de purge
1
3 hPa. Lorsque la canalisation de gaz neutre est équipée d'un débitmètre mas-
flux (voir chapitre « Accessoires »).
ge).
1500
2
2 Electrovanne de purge