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Mise en marche de la pompe à vide
1. Mettez en circuit l'alimentation de tension.
2. Au besoin, activez la pompe à vide dans chaque plage de pression.
3. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fer-
La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de
fonctionnement a été atteinte.
6.3 Réglage de la vitesse de rotation
En fonctionnement, la pompe à vide peut être contrôlée de 3 façons différentes avec chaque fois une
démarrage sans à-coups pour atteindre la vitesse de rotation du moteur de la pompe à vide > 400 tr/
min. La vitesse de rotation du moteur de la pompe à vide augmente linéairement jusqu'à la vitesse de
rotation max.
Plus la vitesse de rotation du moteur est élevée, plus la vitesse d'aspiration de la pompe est élevée.
Une vitesse de rotation plus basse allonge la durée de vie des diaphragmes et des clapets. La pompe à
vide atteint le vide final optimal à une vitesse de rotation comprise entre 600 et 1000 tr/min.
Conditions préalables
● Trimmer tourné vers la butée gauche
● Câble de commande raccordé sur le bloc ST1B (sauf en cas de réglage via le Trimmer)
Réglage externe de la vitesse de rotation via le signal PWM
► Pour un réglage personnalisé de la vitesse de rotation, spécifiez le câble de commande pour ap-
Réglage externe de la vitesse de rotation via la tension analogique
► Spécifiez une tension analogique dans la gamme 0,8 V à 10 V.
Réglage de la vitesse de rotation via le Trimmer
► Tournez le Trimmer dans le sens horaire pour augmenter la vitesse de rotation du moteur.
► Tournez le Trimmer dans le sens anti-horaire pour réduire la vitesse de rotation du moteur.
6.4 Fonctionnement par intervalles de la pompe à membrane
Le fonctionnement par intervalles augmente la durée de vie de la pompe à membrane avec de faibles
débits du gaz < 0.18 hPa l/s. L'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire met en
circuit et hors circuit la pompe à membrane en fonction de la puissance absorbée de la pompe turbo-
moléculaire. La puissance absorbée de la pompe turbomoléculaire dépend de la pression de vide pri-
maire et du débit du gaz.
Procédure
1. Appliquez un signal PWM isolé galvaniquement sur l'entrée des signaux de commande.
2. Pour un bas débit du gaz, réduisez le cycle de travail relatif d'environ 1 à 60 % en comparant la
3. À partir d'environ 0,018 hPa l/s, vérifiez que le volume buffer dans la conduite de vide primaire est
6.5 Pompage de vapeurs condensables
Les vapeurs et l'humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe
à vide. La tuyère de gaz de balayage en option améliore le refoulement des condensats et la pompe
atteint plus vite le vide final spécifié.
mé.
pliquer un signal PWM isolé électriquement sur le bloc ST1B.
– 5 V – 24 V (obligatoire), fréquence limite : > 100 Hz, < 1,5 kHz
La vitesse de rotation ne peut pas être commandée
Dans ce mode de fonctionnement, la vitesse de rotation ne peut pas être commandée.
– 0 V = pompe « arrêt », 24 V = pompe « marche » (vitesse de rotation max.)
puissance absorbée avec les valeurs seuils haut et bas.
de 0,5 litre pour éviter une mise en circuit trop fréquente.
Utilisation
25/48
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