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Utilisation
Risque d'explosion de mélanges d'air/gaz réactif, explosif ou autre.
L'entrée incontrôlée de gaz par la tuyère du gaz de balayage peut former des étincelles d'origine mé-
canique après rupture de la membrane, l'échauffement des surfaces ou la formation de mélanges
d'air/gaz explosif dans le circuit de vide formés par l'électricité statique.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation po-
Risque d'empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d'entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s'échapper de la tuyère de gaz de
balayage.
► Si nécessaire, utiliser une conduite d'évacuation.
Accessoires nécessaires
● Tuyère de gaz de balayage avec filtre (numéro de commande PK 050 304 -U)
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 5
● Clé à fourche, WAF 14
Fig. 6:
1 Filtre (filetage 1/8")
2 Adaptateur de tuyère pour raccordement de gaz inerte (filetage 1/8", tuyère
Monter la tuyère de gaz de balayage
1. Dévissez et retirez le boulon de scellement de la pompe à vide.
2. Vissez la tuyère de gaz de balayage dans la pompe à vide.
3. Dévissez manuellement et retirez le filtre de l'adaptateur de la tuyère pour raccorder une conduite
6.6 Mise hors tension de la pompe à vide
Procédure
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression.
3. Débrancher le bloc d'alimentation.
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AVERTISSEMENT
tentielle.
ATTENTION
Pression d'entrée maximum
La pression d'entrée maximum admissible sur la tuyère de gaz de balayage est de
1200 hPa absolu.
1
2
3
Tuyère de gaz de lavage
Ø 0,2 mm)
de gaz inerte.
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
3
Joint annulaire
VS
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