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Risque d'endommagement dû au retour de gaz dans la pompe roots
Suite au retour du gaz de processus, l'équipement électronique peut être endommagé de manière
irréversible en raison de l'énergie régénérative produite par la rotation du piston.
► Équipez la pompe à vide d'un dispositif contre le retour des gaz.
► Utilisez, p. ex., un dispositif d'isolement côté vide primaire et bloquez la conduite directement
après avoir coupé la pompe à vide.
► Alternativement, utilisez une pompe à vide primaire avec une vanne de sécurité côté vide inté-
grée.
Le paramètre « groupe de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe à vide avec la
commande de toutes les interfaces et configurations connectés.
Procédure avec des processus propres
La pompe à vide peut être coupée dans chaque plage de pression, entre pression atmosphérique et
pression limite, directement à la fin du processus.
1. Fermez la vanne d'isolement dans la conduite à vide et déconnectez la pompe à vide du proces-
sus.
2. Mettez la pompe à vide hors circuit en appuyant une fois sur le bouton
3. Désaérez la pompe à vide via le côté aspiration pour éviter le refoulement de gaz.
4. Coupez l'alimentation en ressources spécifique au processus et à la pompe (p. ex. alimentation
en gaz de pressurisation).
Alternative : mise hors circuit via le paramètre Pfeiffer Vacuum
► Réglez le paramètre [P:010] sur la valeur « 0 ».
Procédure avec un fluide contaminé
1. Fermez la vanne d'isolement dans la conduite à vide et déconnectez la pompe à vide du proces-
sus.
2. À la fin du processus, continuez de faire fonctionner la pompe à vide avec l'alimentation en gaz
de balayage au niveau de la bride de vide pendant 20 à 40 minutes supplémentaires.
– Utilisez de l'air sec ou de l'azote.
3. Coupez ensuite l'alimentation en gaz de balayage.
4. Mettez la pompe à vide hors tension.
5. Désaérez la pompe à vide via le côté aspiration pour éviter le refoulement de gaz.
6. Coupez l'alimentation en ressources spécifique au processus et à la pompe (p. ex. alimentation
en gaz de pressurisation).
AVIS
Utilisation
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