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9 Caractéristiques techniques et dimensions
9.1 Généralités
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 7:
9.2 Fiche technique
Désignation du type
Numéro de commande
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Gamme de mesure
Précision
Tensions d'entrée
Puissance absorbée
Unité de commande électronique
Interfaces I/O
Type de refroidissement
Température de fonctionnement max.
Type de protection
Poids
Tab. 8:
mbar l/s
1
10
3
/s
1.69 · 10
-2
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Débit de gaz
Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d'admission.
Fiche technique de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
Caractéristiques techniques et dimensions
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
1
1.69 · 10
-3
0,133
78,9
0,101
59,8
Unité de surveillance du gaz de pressurisation
PM 016 911 AU
G 1/8"
DN 10 ISO- KF/filetage 1/8"
5 – 200 sccm
±3 sccm
24 V CC
0,5 W
TC 400, TC 1200, TM 700
RS-485
Convection
60 °C
IP54
345 g
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
1,27 · 10
-2
1.67 · 10
1
1,32
0,76
1
3
/s
-2
17/22
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